[發明專利]狹縫噴嘴、基板處理裝置及狹縫噴嘴的制造方法

有效

• 申請號: 201410053481.2
• 申請日: 2014-02-17
• 公開（公告）號: CN104069981A
• 公開（公告）日: 2014-10-01
• 發明（設計）人: 平井孝典;高木善則
• 申請（專利權）人: 大日本網屏制造株式會社
• 主分類號: B05C5/00
• 分類號: B05C5/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

1.一種狹縫噴嘴，在所述狹縫噴嘴的下部包含狹縫狀的噴出口，自所述噴出口噴出處理液，所述狹縫噴嘴的特征在于，包括：

噴嘴本體部，包括將處理液引導至所述噴出口的送液路徑；

噴嘴蓋部，與所述噴嘴本體部貼合，且所述噴嘴蓋部與所述噴嘴本體部一并對所述噴出口的沿長邊方向的開口緣進行規定；

墊片，夾于所述噴嘴本體部與所述噴嘴蓋部之間，對所述噴出口的寬度進行規定；

一對側板，安裝于所述噴嘴本體部及所述噴嘴蓋部的兩端，對所述噴出口的沿寬度方向的開口緣進行規定；以及

堵塞部，對漏出流路進行堵塞，所述漏出流路是產生于所述墊片與所述側板之間的處理液的漏出流路。

2.根據權利要求1所述的狹縫噴嘴，其特征在于：在所述噴嘴蓋部的上側兩端形成有缺口部，所述缺口部自與所述噴嘴本體部相對向的面貫通至所述面的相反側的面，所述堵塞部包括：

彈性構件，填裝于所述缺口部內；以及按壓機構，將所述彈性構件向所述噴嘴蓋部及所述噴嘴本體部按壓。

3.根據權利要求2所述的狹縫噴嘴，其特征在于：在所述墊片的上側兩端，形成面積小于所述缺口部的剖面的缺口，所述彈性構件的端面的一部分直接按壓所述噴嘴本體部，并且所述端面的剩余部分將所述墊片夾入而按壓所述噴嘴本體部。

4.根據權利要求3所述的狹縫噴嘴，其特征在于：所述彈性構件由硅橡膠所形成。

5.一種狹縫噴嘴，在所述狹縫噴嘴的下部包含狹縫狀的噴出口，自所述噴出口噴出處理液，所述狹縫噴嘴的特征在于，包括：

噴嘴本體部，包括將處理液引導至所述噴出口的送液路徑；

噴嘴蓋部，與所述噴嘴本體部貼合，且所述噴嘴蓋部與所述噴嘴本體部一并對所述噴出口的沿長邊方向的開口緣進行規定；

墊片，夾于所述噴嘴本體部與所述噴嘴蓋部之間，對所述噴出口的寬度進行規定；

一對側板，安裝于所述噴嘴本體部及所述噴嘴蓋部的兩端，對所述噴出口的沿寬度方向的開口緣進行規定；

彈性構件，填裝于缺口部內，所述缺口部以自所述噴嘴蓋部的與所述噴嘴本體部相對向的面貫通至所述面的相反側的面的方式，而形成于所述噴嘴蓋部的上側兩端；以及

按壓機構，將所述彈性構件向所述噴嘴蓋部及所述噴嘴本體部按壓而填充于所述缺口部內。

6.根據權利要求5所述的狹縫噴嘴，其特征在于：在所述墊片的上側兩端，形成面積小于所述缺口部的剖面的缺口，所述彈性構件的端面的一部分直接按壓所述噴嘴本體部，并且所述端面的剩余部分將所述墊片夾入而按壓所述噴嘴本體部。

7.根據權利要求6所述的狹縫噴嘴，其特征在于：所述彈性構件由硅橡膠所形成。

8.一種基板處理裝置，其特征在于，包括：如權利要求1至7中任一項所述的狹縫噴嘴；

保持部，在所述狹縫噴嘴的下方水平地保持基板；

驅動部，使所述狹縫噴嘴相對于保持于所述保持部的基板，在與所述噴出口的長邊方向正交的方向上相對地移動；以及供給部，將處理液供給至所述狹縫噴嘴。

9.一種狹縫噴嘴的制造方法，在所述狹縫噴嘴的下部包含狹縫狀的噴出口，自所述噴出口噴出處理液，所述狹縫噴嘴的制造方法的特征在于，包括：

貼設步驟，夾入對所述噴出口的寬度進行規定的墊片而使噴嘴蓋部貼合于噴嘴本體部，所述噴嘴本體部包括將處理液引導至所述噴出口的送液路徑；

安裝步驟，在所述噴嘴本體部及所述噴嘴蓋部的兩端安裝一對側板；

加工步驟，在所述噴嘴蓋部的上側兩端，形成白與所述噴嘴本體部相對向的面貫通至所述面的相反側的面的缺口部；以及

堵塞步驟，在所述缺口部內填裝彈性構件，將所述彈性構件向所述噴嘴蓋部及所述噴嘴本體部按壓，由此堵塞產生于所述墊片與所述側板之間的處理液的漏出流路。

10.根據權利要求9所述的狹縫噴嘴的制造方法，其特征在于：還包括在所述墊片的上側兩端形成面積小于所述缺口部的剖面的缺口的步驟，在所述堵塞步驟中，所述彈性構件的端面的一部分直接按壓所述噴嘴本體部，并且所述端面的剩余部分將所述墊片夾入而按壓所述噴嘴本體部。

11.根據權利要求9或10所述的狹縫噴嘴的制造方法，其特征在于：所述彈性構件由硅橡膠所形成。