[發(fā)明專利]微機械懸臂梁式十六狀態(tài)可重構(gòu)微波帶通濾波器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410053258.8
• 申請日: 2014-02-17
• 公開（公告）號: CN103812467A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設計）人: 張志強;廖小平
• 申請（專利權(quán)）人: 東南大學
• 主分類號: H03H7/12
• 分類號: H03H7/12;H01P1/20;B81B7/02
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種微機械懸臂梁式十六狀態(tài)可重構(gòu)微波帶通濾波器，其特征在于：在砷化鎵襯底（19）上面設有CPW（1），CPW（1）的中間位置是CPW信號線，CPW信號線的兩側(cè)是CPW地線，平面螺旋電感（2）位于該濾波器平面的中間，在平面螺旋電感（2）的左右兩側(cè)依次對稱放置兩個并聯(lián)連接到CPW信號線和地線之間的第一MIM電容（3）和第二MIM電容（4）以及兩個串聯(lián)連接到CPW信號線的第三MIM電容（5）和第四MIM電容（6），構(gòu)成π型拓撲結(jié)構(gòu)形式的微波帶通濾波器；四個由引線連接的第五MIM電容（7）、第六MIM電容（8）、第七MIM電容（9）和第八MIM電容（10）對稱放置在平面螺旋電感（2）的左右兩側(cè)且位于兩個并聯(lián)連接到CPW信號線和地線之間的第一MIM電容（3）和第二MIM電容（4）之間，同時在平面螺旋電感（2）的左右兩側(cè)的任意一側(cè)的兩個由引線連接的第五MIM電容（7）和第七MIM電容（9），或第六MIM電容（8）和第八MIM電容（10）沿CPW信號線的前后兩側(cè)對稱放置；四條引線（12）分別串聯(lián)連接四個由引線連接的第五MIM電容（7）、第六MIM電容（8）、第七MIM電容（9）和第八MIM電容（10），其中每條引線（12）的一端與CPW信號線相連接，而另一端靠近CPW地線且在其末端上制作一個凸點（13）；四個MEMS懸臂梁（14）分別橫跨在四條引線（12）末端的凸點（13）上方；在每個MEMS懸臂梁（14）下方引線（12）的附近放置一個驅(qū)動電極（15），該驅(qū)動電極通過一條連接線（16）與CPW地線外側(cè)的壓焊塊（17）相連接；在MEMS懸臂梁（14）下方驅(qū)動電極（15）上覆蓋Si₃N₄絕緣介質(zhì)層（11）；從而通過利用一個π型拓撲結(jié)構(gòu)形式的微波帶通濾波器以及四個MEMS懸臂梁（14）是否接觸引線上的凸點來分別控制四個由引線連接的第五MIM電容（7）、第六MIM電容（8）、第七MIM電容（9）和第八MIM電容（10）是否與CPW地線相連接，實現(xiàn)了該可重構(gòu)微波帶通濾波器的十六狀態(tài)的中心頻率和帶寬的改變。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機械懸臂梁式十六狀態(tài)可重構(gòu)微波帶通濾波器，其特征在于：平面螺旋電感（2）的數(shù)量為1個且位于該可重構(gòu)微波帶通濾波器的中間部位；平面螺旋電感（2）包括電感的線圈（2-2）和下層通道（2-1）兩部分；平面螺旋電感的線圈（2-2）架空在砷化鎵襯底（19）之上，而下層通道（2-1）位于砷化鎵襯底（19）上；電感的線圈（2-2）的外部接頭與CPW信號線相連接而其內(nèi)部接頭與下層通道（2-1）相連接；下層通道（2-1）的另一端與CPW信號線相連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機械懸臂梁式十六狀態(tài)可重構(gòu)微波帶通濾波器，其特征在于所述的第五MIM電容（7）、第六MIM電容（8）、第七MIM電容（9）和第八MIM電容（10）分別具有不同的電容值。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機械懸臂梁式十六狀態(tài)可重構(gòu)微波帶通濾波器，其特征在于：MEMS懸臂梁（14）的個數(shù)為4個；其中，每個MEMS懸臂梁的一端通過錨區(qū)固定在CPW地線上，而另一端處于自由狀態(tài)。