[發(fā)明專利]支撐機臺有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410050194.6 | 申請日: | 2014-02-13 |
| 公開(公告)號: | CN103792707A | 公開(公告)日: | 2014-05-14 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 李星火;王濤;王鵬;丁振勇;韓亞軍;陳國 | 申請(專利權(quán))人: | 北京京東方顯示技術(shù)有限公司;京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/13 | 分類號: | G02F1/13 |
| 代理公司: | 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002 | 代理人: | 李迪 |
| 地址: | 100176 北京*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 支撐 機臺 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及液晶顯示制造技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及支撐機臺。
背景技術(shù)
液晶顯示技術(shù)發(fā)展至今已經(jīng)相當(dāng)成熟,各個面板公司的主要競爭越來越趨向于良率的提升和成本的下降。
在液晶制造的光刻(Array?Photo)工序采用線性涂膠機(Linear?Coater)進行涂膠,為保證光刻膠膜厚需要將玻璃基板(Glass)真空吸附在涂膠機臺(Coater?Stage)并保證平穩(wěn)。在涂膠機臺中一般設(shè)置有在厚度方向貫穿的銷槽,支撐銷(Lift?Pin)就位于銷孔中,在取放玻璃基板時將玻璃基板頂起。
支撐銷作為取放玻璃基板的重要器件,容易受到外力而彎曲,以至于在升降過程里中與銷孔發(fā)生滑動摩擦,產(chǎn)生微粒(Particle),Particle被帶到涂膠機臺的表面,從而可能吸附到玻璃基板上,造成液晶面板的Shell?Mura,并且當(dāng)玻璃基板上吸附的微粒過大過多時甚至?xí)鸱雷o性報警(Defect?Alarm),影響良品率。
發(fā)明內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問題
本發(fā)明是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中涂膠機臺的支撐銷與銷槽發(fā)生滑動摩擦而產(chǎn)生微粒的問題,從而防止液晶面板產(chǎn)生Shell?Mura。
(二)技術(shù)方案
為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供了一種支撐機臺,包括若干個銷孔,銷孔中容納有可以上下移動的支撐銷,銷孔的孔壁上設(shè)置有至少一個凹槽,凹槽容納有滾珠,所述滾珠在凹槽內(nèi)自由滾動,所述滾珠位于容納在銷孔中的支撐銷周圍,并且凹槽的形狀和大小使得每個滾珠可以在凹槽中滾動并使每個滾珠始終有一部分突出于銷孔的孔壁。
優(yōu)選地,凹槽為互不連通的不完整球窩狀,且每個凹槽中容納一個滾珠。
優(yōu)選地,凹槽為水平的圓環(huán)槽道,且每個圓環(huán)槽道容納多個滾珠。
優(yōu)選地,所述滾珠的直徑大于圓環(huán)槽道的寬度。
優(yōu)選地,每個銷孔中設(shè)置有多條所述的圓環(huán)槽道,每條圓環(huán)槽道上容納有多個滾珠。
優(yōu)選地,在每個銷孔兩端附近的孔壁上分別設(shè)置有一條所述的圓環(huán)槽道。
優(yōu)選地,凹槽為與銷孔壁一體成型。
優(yōu)選地,滾珠和支撐銷之間存在縫隙,使得支撐銷在不受力偏折時,滾珠和支撐銷不發(fā)生接觸。
優(yōu)選地,每個滾珠的大小相同。
優(yōu)選地,滾珠由陶瓷制成。
(三)有益效果
本發(fā)明提供的支撐機臺,在銷孔壁中設(shè)置凹槽和在凹槽中可以自由滾動的滾珠,將支撐銷偏折或彎曲時與銷孔壁的滑動摩擦轉(zhuǎn)化為與滾珠的滾動摩擦,這樣可以減少微粒的產(chǎn)生,使吸附到液晶面板的微粒大為減少,從而防止液晶面板產(chǎn)生Shell?Mura,提高液晶面板產(chǎn)品的良率。
附圖說明
圖1為本發(fā)明的支撐機臺的豎直方向局部剖視圖;
圖2為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的支撐機臺的一個銷孔在其圓環(huán)槽道處的水平方向的局部剖視圖。
圖3為根據(jù)本發(fā)明又一個實施例本發(fā)明的支撐機臺的一個銷孔在其圓環(huán)槽道處的水平方向的局部剖視圖。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖和實施例,對本發(fā)明的具體實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本發(fā)明,但不能用來限制本發(fā)明的范圍。
圖1為本發(fā)明的支撐機臺的豎直方向局部剖視圖,圖2為本發(fā)明的支撐機臺的一個銷孔在其圓環(huán)槽道處的水平方向的局部剖視圖。支撐機臺1表面水平,用于放置基板。本發(fā)明相對于現(xiàn)有技術(shù)的改進之處在于銷孔的構(gòu)造,因此在下面重點介紹銷孔的構(gòu)造。
支撐機臺1包括至少一個銷孔2,銷孔2中容納有可以上下移動的支撐銷3,銷孔2的孔壁上設(shè)置有凹槽4,凹槽4容納有若干個滾珠5,所述滾珠5在凹槽4內(nèi)自由滾動,所述凹槽4設(shè)置在支撐銷3周圍,并且凹槽4的形狀和大小使得每個滾珠5可以在凹槽4中滾動并使每個滾珠5始終有一部分突出于銷孔2的孔壁。在圖1中還示出了支撐銷3安裝在一個升降機6上,通過升降機6可以控制支撐銷3的升降。
由于在銷孔2的凹槽中設(shè)置有可以滾動的滾珠5,當(dāng)支撐銷3在受到外力使其運動軌跡發(fā)生傾斜時,可以通過滾珠5將支撐銷與銷孔壁接觸時的滑動摩擦轉(zhuǎn)化為與滾珠5的滾動摩擦,這樣可以減少微粒的產(chǎn)生,使吸附到基板上的微粒大為減少,從而防止液晶面板產(chǎn)生Shell?Mura,提高液晶面板產(chǎn)品的良率。
當(dāng)然,本支撐機臺也可以應(yīng)用到其他產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中,均可以起到減少生產(chǎn)過程中由于摩擦產(chǎn)生的微粒,減小對產(chǎn)品的污染和影響。
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G02F 用于控制光的強度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置,例如轉(zhuǎn)換、選通、調(diào)制或解調(diào),上述器件或裝置的光學(xué)操作是通過改變器件或裝置的介質(zhì)的光學(xué)性質(zhì)來修改的;用于上述操作的技術(shù)或工藝;變頻;非線性光學(xué);光學(xué)
G02F1-00 控制來自獨立光源的光的強度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置,例如,轉(zhuǎn)換、選通或調(diào)制;非線性光學(xué)
G02F1-01 .對強度、相位、偏振或顏色的控制
G02F1-29 .用于光束的位置或方向的控制,即偏轉(zhuǎn)
G02F1-35 .非線性光學(xué)
G02F1-355 ..以所用材料為特征的
G02F1-365 ..在光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中的





