[發(fā)明專利]有機(jī)發(fā)光二極管膜層圖案的制造方法及其制造治具

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410050164.5
• 申請日: 2014-02-13
• 公開（公告）號: CN103762322A
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 謝維容;黃信哲
• 申請（專利權(quán)）人: 友達(dá)光電股份有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種應(yīng)用于液晶顯示設(shè)備的光掩膜技術(shù)，尤其涉及一種形成有機(jī)發(fā)光二極管膜層圖案的制造方法及其制造治具。

背景技術(shù)

近年來，常規(guī)的顯示器已逐漸地被便攜式薄平板顯示器所取代。由于有機(jī)或無機(jī)發(fā)光顯示器可提供寬視角和良好的對比度，且具有快速的響應(yīng)速度，因而有機(jī)或無機(jī)發(fā)光顯示器的自發(fā)光顯示器比其它平板顯示器具有更多的優(yōu)勢。這樣，有機(jī)或無機(jī)發(fā)光顯示器作為下一代顯示器已引起人們的廣泛關(guān)注，特別是包括由有機(jī)材料形成的發(fā)光層的OLED（Organic?Light?Emitting?Diode，有機(jī)電致發(fā)光二極管）顯示器在提供彩色圖像的同時，相比無機(jī)發(fā)光顯示器具有更好的亮度、更低的驅(qū)動電壓和更快的響應(yīng)時間。

對于OLED顯示器來說，在制程工藝中，往往需要在襯底上沉積一層或多層有機(jī)膜，并且將膜層堆疊的頂部和底部耦合到電極。在此，膜厚是主要的考慮因素，例如，總的膜層堆疊厚度大致約100nm，每一沉積膜層以優(yōu)于正負(fù)1nm的精確度來進(jìn)行最佳地均勻沉積。此外，沉積薄膜的另一重要考慮因素是將膜精確放置在發(fā)光區(qū)域所需的位置，現(xiàn)有技術(shù)較常采用的諸如遮罩屏蔽法。具體而言，遮罩屏蔽技術(shù)需要將限定分明的掩模放置在襯底區(qū)域上方，隨后在整個襯底區(qū)域上方沉積膜。一旦完成沉積，就去除遮罩掩模，通過掩模暴露的區(qū)域限定了襯底上沉積的膜層圖案。這種工藝的效率較低，這是因為，即使只有掩模暴露的區(qū)域需要沉積膜，也必須涂覆整個襯底；其次，隨著每次使用，對遮罩掩模進(jìn)行越來越多地涂覆，最終必須被丟棄或被清潔；再者，在大區(qū)域上方采用遮罩掩模很困難，使用極薄的掩模又會使掩模的結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定。

有鑒于此，如何對傳統(tǒng)的有機(jī)發(fā)光二極管膜層圖案的制程工藝進(jìn)行改進(jìn)或革新，既可保證高質(zhì)量的沉積膜層的形成，又可降低制程成本，是業(yè)內(nèi)相關(guān)技術(shù)人員亟待解決的一項課題。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)中的有機(jī)發(fā)光二極管膜層圖案制作時所存在的上述缺陷，本發(fā)明提供了一種形成有機(jī)發(fā)光二極管膜層圖案的制造方法及其制造治具。

依據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種用于形成有機(jī)發(fā)光二極管膜層圖案的制造方法，包括以下步驟：

提供一基材；

形成一可撕膠膜于所述基材的上方，其中所述可撕膠膜具有一預(yù)設(shè)圖案；

將一有機(jī)發(fā)光二極管膜層鍍于所述基材以及所述可撕膠膜的上方；以及

撕除所述有機(jī)發(fā)光二極管膜層的一部分和所述可撕膠膜，以得到所述有機(jī)發(fā)光二極管膜層的目標(biāo)區(qū)域，從而形成所述有機(jī)發(fā)光二極管膜層圖案。

在其中的一實施例，采用網(wǎng)印方式將所述可撕膠膜形成于所述基材的上方。

在其中的一實施例，采用印刷輪滾動方式將所述可撕膠膜形成于所述基材的上方。較佳地，所述基材為一可撓式基材。

依據(jù)本發(fā)明的又一個方面，提供了一種上述制造方法的可撕膠膜圖案的制造治具，包括：

一網(wǎng)版，具有多個柵格，所述柵格的位置布局對應(yīng)于所述可撕膠膜的預(yù)設(shè)圖案；

一回墨刀，用于將所述可撕膠膜涂布至所述網(wǎng)版的表面；

以及

一刮刀，位于所述回墨刀的一側(cè)，當(dāng)所述刮刀下壓時，擠壓所述可撕膠膜并透過所述柵格貼附于所述基材的上表面，從而形成所述可撕膠膜圖案，其中所述基材設(shè)置于所述網(wǎng)版的下方且可沿著水平方向移動。

在其中的一實施例，所述回墨刀以第一壓力將所述可撕膠膜涂布至所述網(wǎng)版的表面，所述刮刀以第二壓力下壓所述網(wǎng)版，其中所述第一壓力小于所述第二壓力。

依據(jù)本發(fā)明的再一個方面，提供了一種上述制造方法的可撕膠膜圖案的制造治具，包括：

一印刷輪，其圓周設(shè)置有多個彼此間隔的凸起；

一存儲槽，用以存儲所述可撕膠，當(dāng)所述印刷輪旋轉(zhuǎn)時，所述存儲槽中的可撕膠涂布至所述印刷輪的凸起；以及

若干滾輪，設(shè)置于可撓式基材的表面，所述滾輪用以提供摩擦力從而使所述可撓式基材移動，

當(dāng)所述可撓式基材移動時，藉由所述印刷輪的轉(zhuǎn)動將所涂布的可撕膠印刷至所述可撓式基材，從而形成所述可撕膠膜圖案。

在其中的一實施例，所述制造治具還包括一干燥器，用于干燥印刷至所述可撓式基材的可撕膠。

在其中的一實施例，所述滾輪位于所述可撓式基材的轉(zhuǎn)角處，用以提供移動所需的滾動摩擦力。

在其中的一實施例，滾輪位于所述可撓式基材的水平段，用以提供移動所需的滑動摩擦力。