[發明專利]利用白噪聲PSD校準光學表面輪廓儀有效空間分辨率的方法有效
| 申請號： | 201410050122.1 | 申請日： | 2014-02-13 |
| 公開（公告）號： | CN103983204A | 公開（公告）日： | 2014-08-13 |
| 發明（設計）人： | 王占山;馬爽;蔣勵;沈正祥 | 申請（專利權）人： | 同濟大學 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 200092*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 利用 噪聲 psd 校準 光學 表面 輪廓儀 有效 空間 分辨率 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種利用白噪聲功率譜密度(PSD)校準光學表面輪廓儀有效空間分辨率的方法，其特征在于：使用被校準設備光學表面輪廓儀的三個不同倍數物鏡對光學元件表面測試，描繪其結果在對數坐標下的功率譜密度(PSD)曲線。
2.根據權利要求1所述的校準光學表面輪廓儀有效空間分辨率的方法，其特征在于：利用MATLAB模擬各個物鏡下，測試結果白噪聲的功率譜密度(PSD)曲線。
3.根據權利要求1所述的校準光學表面輪廓儀有效空間分辨率的方法，其特征在于：將MATLAB模擬結果和光學元件表面測試結果相對比，符合模擬結果部分去掉，余下部分為有效空間頻率范圍。
4.根據權利要求1所述的校準光學表面輪廓儀有效空間分辨率的方法，其特征在于：使用不同光學元件進行重復試驗，驗證結果的重復性和準確性。
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