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[發明專利]一種光子晶體結構GaN基LED的制備方法有效

專利信息
申請號: 201410049914.7 申請日: 2014-02-13
公開(公告)號: CN103794688B 公開(公告)日: 2016-11-09
發明(設計)人: 劉寶林;陳志遠;朱麗虹;曾凡明;林飛 申請(專利權)人: 廈門大學
主分類號: H01L33/00 分類號: H01L33/00
代理公司: 廈門南強之路專利事務所(普通合伙) 35200 代理人: 馬應森
地址: 361005 *** 國省代碼: 福建;35
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 光子 晶體結構 gan led 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種光子晶體結構GaN基LED的制備方法,其特征在于包括以下步驟:

1)在GaN基LED外延片表面蒸鍍透明導電層;

2)在步驟1)生長的透明導電層上生長一層掩膜層;

3)在步驟2)生長的掩膜層上涂上壓印膠,利用具有納米結構的硬模板直接進行納米壓印,脫模后在膠體表面形成納米結構;

4)對外延片進行殘膠去除以保證膠體納米孔狀結構中的殘膠均被移除;

5)對外延片進行刻蝕以除去掩膜層未被壓印膠覆蓋的部分,即將壓印膠的納米結構復制到掩膜層上;

6)去除掩膜層表面所有殘余壓印膠;

7)在外延片表面再次蒸鍍與步驟1)所述相同的透明導電層;

8)去除外延片表面殘余掩膜層,在透明導電層上得到光子晶體結構;

9)將上述步驟得到的光子晶體結構采用傳統工藝即得到光子晶體結構GaN基LED。

2.如權利要求1所述一種光子晶體結構GaN基LED的制備方法,其特征在于在步驟1)中,所述透明導電層選自氧化銦錫、氧化鋅、ZnO:Al、摻氟氧化錫、鉬氧化銦、石墨烯中的一種。

3.如權利要求1所述一種光子晶體結構GaN基LED的制備方法,其特征在于在步驟2)中,所述掩膜層采用任何一種易于生長和加工的薄膜層。

4.如權利要求3所述一種光子晶體結構GaN基LED的制備方法,其特征在于在步驟2)中,所述易于生長和加工的薄膜層選自氧化硅、氮化硅、鉻中的一種。

5.如權利要求1所述一種光子晶體結構GaN基LED的制備方法,其特征在于在步驟2)中,所述掩膜層的厚度大于目的光子晶體結構厚度。

6.如權利要求1所述一種光子晶體結構GaN基LED的制備方法,其特征在于在步驟4)中,所述對外延片進行殘膠去除采用氧氣等離子體去除。

7.如權利要求1所述一種光子晶體結構GaN基LED的制備方法,其特征在于在步驟6)中,所述去除掩膜層表面所有殘余壓印膠的方法,采用氧氣等離子體或丙酮溶液進行處理。

8.如權利要求1所述一種光子晶體結構GaN基LED的制備方法,其特征在于在步驟7)中,所述透明導電層的蒸鍍厚度小于步驟2)中所述掩膜層的厚度。

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