[發(fā)明專利]一種超純氣體全自動高精度充裝系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410049129.1
• 申請日: 2014-02-12
• 公開（公告）號: CN103775822A
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李春林;羅世魁;顏吟雪;楊濤;高騰;趙石磊
• 申請（專利權(quán)）人: 北京空間機(jī)電研究所
• 主分類號: F17C5/06
• 分類號: F17C5/06
• 代理公司: 中國航天科技專利中心 11009
• 代理人: 安麗

1.一種超純氣體全自動高精度充裝系統(tǒng)，其特征在于：包括超純氣源、超純氣體儲罐、真空充裝室、管路抽真空裝置、真空室抽真空裝置、廢氣回收處理裝置、加熱帶、制冷機(jī)、壓力傳感器、溫度傳感器；超純氣源通過補(bǔ)氣管路與超純氣體儲罐連接，并向超純氣體儲罐內(nèi)補(bǔ)充氣體；超純氣體儲罐通過充氣管路與真空充裝室連接，為真空充裝室內(nèi)的待充灌產(chǎn)品充氣；管路抽真空裝置的一端通過抽氣管路分別連接至補(bǔ)氣管路、超純氣體儲罐、充氣管路，管路抽真空裝置的另一端連接至廢氣回收處理裝置，將抽出的氣體送至廢氣回收處理裝置，并通過廢氣回收處理裝置進(jìn)行無毒化處理；真空室抽真空裝置、制冷機(jī)均與真空充裝室連接，為真空充裝室進(jìn)行抽真空處理以及控制真空充裝室內(nèi)溫度；補(bǔ)氣管路、超純氣體儲罐、充氣管路以及抽氣管路均通過復(fù)壓管路與廢氣回收處理裝置連接，對各管路或容器進(jìn)行置換清洗；超純氣體儲罐還通過過壓保護(hù)管路連接至廢氣回收處理裝置，用于系統(tǒng)的超壓卸載；各管路外部布置加熱帶和溫度傳感器，用于對管路進(jìn)行加熱除氣；超純氣體儲罐以及各管路上配備有用于監(jiān)測狀態(tài)的壓力傳感器；所述的復(fù)壓管路中配有復(fù)壓閥，所述的補(bǔ)氣管路、抽氣管路以及充氣管路中配有截止閥，所述的過壓保護(hù)管路中配有安全閥。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純氣體全自動高精度充裝系統(tǒng)，其特征在于：所述的充氣管路包括第五截止閥、第六截止閥、第七截止閥、第三壓力表、第四壓力表、第五壓力表以及科氏流量計(jì)；超純氣體儲罐輸出的氣體依次經(jīng)過第五截止閥、科氏流量計(jì)、第六截止閥、第七截止閥后到達(dá)真空充裝室，第五截止閥和科氏流量計(jì)間裝有第三壓力表，科氏流量計(jì)和第六截止閥間裝有第四壓力表，第六截止閥和第七截止閥間裝有第五壓力表；通過科氏流量計(jì)以及第三壓力表、第四壓力表、第五壓力表的值監(jiān)測并控制超純氣體儲罐向真空充裝室內(nèi)待充裝產(chǎn)品輸出的氣體的壓力及流量。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純氣體全自動高精度充裝系統(tǒng)，其特征在于：所述的真空充裝室內(nèi)頂部安裝有用于對待充裝產(chǎn)品進(jìn)行加熱除氣的加熱籠；真空充裝室底部安裝有冷板，冷板連接至外部制冷機(jī)，并為真空充裝室降溫，進(jìn)而對置于冷板上面的待充裝產(chǎn)品進(jìn)行冷卻；真空充裝室內(nèi)部還安裝有溫度傳感器，溫度傳感器探頭粘帖在待充裝產(chǎn)品上，實(shí)時(shí)檢測待充裝產(chǎn)品溫度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純氣體全自動高精度充裝系統(tǒng)，其特征在于：所述的截止閥、復(fù)壓閥均為氣動電磁閥。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純氣體全自動高精度充裝系統(tǒng)，其特征在于：還包括操作控制臺；所述的科氏流量計(jì)、壓力傳感器、溫度傳感器、各截至閥、管路抽真空裝置、真空室抽真空裝置均通過操作控制臺實(shí)時(shí)顯示測量值或控制開關(guān)、起停。