[發明專利]多功能光學傳感器單元

有效

• 申請號: 201410048531.8
• 申請日: 2014-02-12
• 公開（公告）號: CN103983287B
• 公開（公告）日: 2018-08-10
• 發明（設計）人: M·A·卡拉萊羅;O·索利加德;X·吳;B·S·帕克
• 申請（專利權）人: 波音公司
• 主分類號: G01D5/28
• 分類號: G01D5/28;B64D37/32
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 趙蓉民;張全信

1.一種光學傳感器單元(118、300、604、1500、1600、1700)，其包括：

第一反射結構(200、1502、1602、1702)，其配置為與光纖(126、302)關聯；

第二反射結構(202、1510、1610、1710)；以及

腔系統(204)，其位于所述第一反射結構(200、1502、1602、1702)和所述第二反射結構(202、1510、1610、1710)之間；

其中所述腔系統(204)包括密封腔(210、406、1402、1506、1606、1706)。

2.權利要求1所述的光學傳感器單元(118、300、604、1500、1600、1700)，其中所述第一反射結構(200、1502、1602、1702)和所述腔系統(204)包括在所述第一反射結構(200、1502、1602、1702)和所述腔系統(204)之間的腔(1616、1716)和通道(1614、1714)；并且

其中所述第二反射結構(202、1510、1610、1710)和所述腔系統(204)包括在所述第二反射結構(202、1510、1610、1710)和所述腔系統(204)之間的腔(1622、1722)和通道(1620、1720)。

3.權利要求1所述的光學傳感器單元(118、300、604、1500、1600、1700)，其中所述腔系統(204)由一組腔組成。

4.權利要求1所述的光學傳感器單元(118、300、604、1500、1600、1700)，其中所述腔系統(204)包括單個腔。

5.權利要求1所述的光學傳感器單元(118、300、604、1500、1600、1700)，其中所述第一反射結構(200、1502、1602、1702)、所述第二反射結構(202、1510、1610、1710)以及所述腔系統(204)在襯底上形成，該襯底選自硅襯底和絕緣體上的硅襯底中的一個。

6.權利要求1所述的光學傳感器單元(118、300、604、1500、1600、1700)，其中所述光學傳感器單元(118、300、604、1500、1600、1700)配置為產生對光信號(128、502)的響應(130、503)，其包括與溫度(120)、壓力(122)和折射率(124)中的至少一個有關的信息(132)。

7.權利要求1-6任一項所述的光學傳感器單元(118、300、604、1500、1600、1700)，其進一步包括：

測量系統(110)，其配置為將光信號(128、502)經過所述光纖(126、302)發送至光學所述傳感器單元(118、300、604、1500、1600、1700)并檢測由所述光學傳感器單元(118、300、604、1500、1600、1700)產生的對所述光信號(128、502)的響應(130、503)。

8.權利要求7所述的光學傳感器單元(118、300、604、1500、1600、1700)，其中所述光纖選自多模光纖和單模光纖中的一種。

9.權利要求1至6任一項所述的光學傳感器單元(118、300、604、1500、1600、1700)，其中所述第一反射結構(200、1502、1602、1702)、所述第二反射結構(202、1510、1610、1710)和所述腔系統(204)配置為產生與溫度(120)、壓力(122)或折射率(124)有關的信息(132)。

10.權利要求1所述的光學傳感器單元(118、300、604、1500、1600、1700)，其中所述第一反射結構(200、1502、1602、1702)對溫度(120)變化敏感，和所述第二反射結構(202、1510、1610、1710)對壓力(122)變化敏感。