[發(fā)明專利]一種大功率離子源穩(wěn)定長(zhǎng)脈沖運(yùn)行方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410046013.2 | 申請(qǐng)日： | 2014-02-08 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN103824742A | 公開（公告）日： | 2014-05-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 謝亞紅;胡純棟;劉勝;劉智民;蔣才超;盛鵬;陳俞錢 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院等離子體物理研究所 |
| 主分類號(hào)： | H01J37/08 | 分類號(hào)： | H01J37/08;H01J27/02 |
| 代理公司： | 安徽合肥華信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 大功率 離子源 穩(wěn)定 脈沖 運(yùn)行 方法 | ||
1.一種大功率離子源穩(wěn)定長(zhǎng)脈沖運(yùn)行方法，其特征在于：根據(jù)大功率離子源的工作原理，利用電流信號(hào)測(cè)量器件實(shí)時(shí)測(cè)量離子源引出束電流信號(hào)，并將離子源引出束電流信號(hào)隔離處理后輸出到信號(hào)比較處理單元；信號(hào)比較處理單元基于離子源的運(yùn)行特點(diǎn)，根據(jù)引出束的電壓預(yù)設(shè)閾值信號(hào)，將閾值信號(hào)與離子源引出束電流信號(hào)進(jìn)行實(shí)時(shí)比較運(yùn)算，輸出控制信號(hào)至離子源運(yùn)行控制單元；離子源運(yùn)行控制單元實(shí)時(shí)響應(yīng)信號(hào)比較處理單元輸出的控制信號(hào)，實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)離子源起弧運(yùn)行的輸入初始參數(shù)，進(jìn)而調(diào)節(jié)離子源等離子體的產(chǎn)生，以維持離子源引出束電流的大小不變，達(dá)到大功率離子源穩(wěn)定長(zhǎng)脈沖運(yùn)行的目的。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大功率離子源穩(wěn)定長(zhǎng)脈沖運(yùn)行方法，其特征在于：電流信號(hào)測(cè)量器件需長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作測(cè)量離子源引出束電流信號(hào)，工作時(shí)長(zhǎng)大于10s。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大功率離子源穩(wěn)定長(zhǎng)脈沖運(yùn)行方法，其特征在于：所述離子源引出束電流信號(hào)與閾值信號(hào)處理單元的響應(yīng)時(shí)間小于1ms。
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