[發明專利]一種在線可控式光學元件刻蝕裝置

有效

• 申請號: 201410045558.1
• 申請日: 2014-02-08
• 公開（公告）號: CN103755148A
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發明（設計）人: 葉卉;胡陳林;楊煒;楊平;郭隱彪
• 申請（專利權）人: 廈門大學
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 廈門南強之路專利事務所(普通合伙) 35200
• 代理人: 馬應森

1.一種在線可控式光學元件刻蝕裝置，其特征在于設有緩沖液存儲容器、刻蝕反應發生裝置、伺服電機、密封蓋、導管、可旋轉多功能夾具、在線濃度計、恒溫箱；不同的緩沖液存儲容器內裝不同的刻蝕溶液，緩沖液存儲容器下端通過導管與密封蓋相連，導管直接通入刻蝕反應發生裝置中，導管中部設有開關，所述開關由計算機直接控制；伺服電機安裝在密封蓋中部，伺服電機與可旋轉多功能夾具中軸相連；在線濃度計設在刻蝕反應發生裝置外部下端，在線濃度計通過導線與計算機相連，刻蝕反應發生裝置整體位于恒溫箱中，由在線濃度計準確控制刻蝕反應發生裝置內刻蝕液的濃度，可旋轉多功能夾具實現光學元件的固定及刻蝕液的攪拌；可旋轉多功能夾具設有豎直中軸、四對橫向分支，四對橫向分支均布在豎直中軸四周，四對橫向分支內設有光學元件定位槽，豎直中軸上設有四條分支槽；每對橫向分支一端伸入分支槽內部，并由可伸縮彈性圈相互固定，每對橫向分支中的一個橫向分支固定于分支槽底部，每對橫向分支中的另一個橫向分支沿分支槽上下移動。