[發(fā)明專利]設(shè)計用于半導(dǎo)體器件制造的布局的系統(tǒng)和方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410045040.8 | 申請日： | 2014-02-07 |
| 公開（公告）號： | CN104636530B | 公開（公告）日： | 2017-12-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 許欽雄;侯元德;陳文豪 | 申請（專利權(quán)）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | G06F17/50 | 分類號： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11409 | 代理人： | 章社杲,孫征 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 設(shè)計 用于 半導(dǎo)體器件 制造 布局 系統(tǒng) 方法 | ||
1.一種用于設(shè)計半導(dǎo)體器件布局的處理器執(zhí)行方法，所述方法包括：
接收用于制造半導(dǎo)體器件的包括多個第一目標部件的初始布局；
使用一個或多個數(shù)據(jù)處理器確定將要插入到所述初始布局內(nèi)的一個或多個第一偽部件；確定與所述第一目標部件相關(guān)的第一寬度變化；
使用所述一個或多個數(shù)據(jù)處理器將所述第一目標部件和所述一個或多個第一偽部件分配至多個掩模；以及
使用所述一個或多個數(shù)據(jù)處理器產(chǎn)生用于制造所述半導(dǎo)體器件的最終布局，
其中，確定將要插入所述初始布局中的所述一個或多個偽部件的步驟與將所述第一目標部件和所述一個或多個第一偽部件分配至多個掩模的步驟同時實施以減小與所述第一目標部件相關(guān)的所述第一寬度變化。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，確定將要加入到所述初始布局中的所述一個或多個第一偽部件的步驟包括：
至少部分地基于所述第一目標部件之間的間隔來確定所述一個或多個第一偽部件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述第一目標部件之間的間隔包括平行間隔和垂直間隔。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中：
至少基于與最小長度和最小間隔相關(guān)的信息確定所述平行間隔；以及
至少基于與所述最小間隔相關(guān)的信息確定所述垂直間隔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述第一偽部件包括選自由分段偽部件、完整偽部件和基于剪切的偽部件組成的組的一種或多種偽部件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，包括：
確定將要分配至第一掩模的一個或多個第二目標部件，所述第二目標部件包括在所述第一目標部件中；
確定將要分配至第二掩模的一個或多個第二偽部件，所述第二偽部件包括在所述第一偽部件中；
估算與所述一個或多個第二目標部件相關(guān)的一個或多個第一寬度變化；以及
估算與所述第一寬度變化和所述第二偽部件相關(guān)的第一成本。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中，將所述第一目標部件和所述第一偽部件分配至多個掩模的步驟還包括：
確定將要分配至所述第一掩模的一個或多個第三目標部件，所述第三目標部件包括在所述第一目標部件中；
確定將要分配至所述第二掩模的一個或多個第三偽部件，所述第三偽部件包括在所述第一偽部件中；
估算與所述一個或多個第三目標部件相關(guān)的一個或多個第二寬度變化；以及
估算與所述第二寬度變化和所述第三偽部件相關(guān)的第二成本。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，將所述第一目標部件和所述第一偽部件分配至多個掩模的步驟還包括：
響應(yīng)于小于所述第二成本的所述第一成本，
將所述第二目標部件分配至所述第一掩模；以及
將所述第二偽部件分配至所述第二掩模。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，將所述第一目標部件和所述第一偽部件分配至多個掩模的步驟還包括：
確定將要分配至所述第一掩模的一個或多個第四目標部件，所述第四目標部件包括在所述第一目標部件中；
確定將要分配至所述第二掩模的一個或多個第四偽部件，所述第四偽部件包括在所述第一偽部件中；
估算與所述一個或多個第四目標部件相關(guān)的一個或多個第三寬度變化；以及
估算與所述第三寬度變化和所述第四偽部件相關(guān)的第三成本。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中，將所述第一目標部件和所述第一偽部件分配至多個掩模的步驟還包括：
響應(yīng)于小于所述第二成本和所述第三成本的所述第一成本，
將所述第二目標部件分配至所述第一掩模；以及
將所述第二偽部件分配至所述第二掩模。
11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中，將所述第一目標部件和所述第一偽部件分配至多個掩模的步驟還包括：
確定將要分配至所述第二掩模的一個或多個第三目標部件，所述第三目標部件包括在所述第一目標部件中，并且與所述第二目標部件不同。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中，在所述初始布局中，所述第二目標部件中的一個與所述第三目標部件中的一個之間具有距離，所述距離小于預(yù)定限制。
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