[發明專利]樣本制備鏡臺

有效

• 申請號: 201410044980.5
• 申請日: 2014-02-07
• 公開（公告）號: CN103983485B
• 公開（公告）日: 2017-06-30
• 發明（設計）人: J.A.H.W.G.佩索恩;A.T.恩格倫;M.P.W.范登博加爾德;R.J.P.G.沙姆佩斯;M.F.哈勒斯
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: G01N1/28
• 分類號: G01N1/28
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 董均華,譚祐祥

1.一種多軸樣本制備鏡臺，包括：

主體樣本保持器，其配置成圍繞與所述主體樣本保持器的方向平行的第一主體軸而旋轉樣本位置，并且還圍繞與所述主體樣本保持器的方向垂直的主體翻轉軸而旋轉所述樣本位置；以及

柵樣本保持器，其用于保持與所述主體樣本保持器相鄰的樣本柵，并且配置成圍繞與所述柵樣本保持器的方向平行的第一柵軸，以及與所述柵樣本保持器的方向垂直的柵翻轉軸，而旋轉所述樣本柵，

其中，所述第一主體軸延伸穿過所述主體樣本保持器。

2.根據權利要求1所述的多軸樣本制備鏡臺，還包括與所述主體樣本保持器和所述柵樣本保持器接觸的熱控制系統。

3.根據權利要求2所述的多軸樣本制備鏡臺，其中，所述熱控制系統包括一系列的輥，所述輥配置成允許所述多軸樣本制備鏡臺在360度或更大角度中旋轉。

4.根據權利要求2所述的多軸樣本制備鏡臺，其中，所述熱控制系統配置成將所述柵樣本保持器和主體樣本保持器的溫度減小至-150oC或更低的溫度。

5.根據權利要求1所述的多軸樣本制備鏡臺，其中，所述主體樣本保持器和柵樣本保持器配置成保持柵、圓片或管子中的至少一個。

6.根據權利要求1所述的多軸樣本制備鏡臺，其中，所述主體樣本保持器或所述柵樣本保持器配置成旋轉360度。

7.根據權利要求1所述的多軸樣本制備鏡臺，還包括用于執行STEM顯微術的檢測器。

8.一種具有聚焦離子束柱和掃描電子顯微鏡柱的雙束系統，包括權利要求1的多軸樣本制備鏡臺。

9.一種制備樣本的原位中方法，包括：

提供權利要求1所述的多軸樣本制備鏡臺；

從存儲在所述主體樣本保持器中的樣本來切割薄片；以及

將所述薄片從所述主體樣本保持器轉移到在所述柵樣本保持器上的柵。

10.根據權利要求9所述的方法，其中，切割薄片包括使用聚焦離子束以從主體樣本的關注區域切割薄片。

11.根據權利要求9所述的方法，其中，操縱器通過將所述操縱器的尖端焊接到所述薄片而附接到所述薄片。

12.根據權利要求9所述的方法，還包括將所述薄片成像。

13.根據權利要求9所述的方法，還包括旋轉所述薄片以確定所述薄片是否包括玻璃質或結晶的冰。