[發(fā)明專利]圖案形成裝置及圖案形成方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410043945.1
• 申請日: 2014-01-29
• 公開（公告）號: CN103963425A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 川越理史;增市干雄;上野博之;正司和大;芝藤彌生;上野美佳
• 申請（專利權(quán)）人: 大日本網(wǎng)屏制造株式會社
• 主分類號: B41F7/02
• 分類號: B41F7/02;B41M1/06
• 代理公司: 隆天國際知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 董雅會;郭曉東

1.一種圖案形成裝置，其特征在于，

具有：

第一保持單元，其對在一面上擔(dān)載有圖案形成材料的橡皮布，以使所述圖案形成材料的擔(dān)載面朝上的水平姿勢進行保持；

第二保持單元，其將用于對所述圖案形成材料進行圖案成形的版或者要被轉(zhuǎn)印圖案的基板作為處理對象物，以使該處理對象物與被所述第一保持單元保持的所述橡皮布的上表面接近并相向的方式，保持該處理對象物；

托起單元，其從所述橡皮布的下表面?zhèn)染植康赝衅鹚鱿鹌げ贾醒氩康挠行^(qū)域，來使所述有效區(qū)域與被所述第二保持單元保持的所述處理對象物相抵接，而且沿著所述橡皮布的下表面移動來使所述橡皮布的托起位置發(fā)生變化。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖案形成裝置，其特征在于，

所述托起單元將所述橡皮布的下表面的在一個軸方向上比所述有效區(qū)域的長度長的區(qū)域一同托起，并且所述托起單元從所述有效區(qū)域的與該軸方向垂直的方向上的一端朝向另一端沿一個方向移動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖案形成裝置，其特征在于，

所述托起單元具有：托起輥，其沿著所述軸方向延伸設(shè)置；移動部，其一邊支撐所述托起輥并能夠使所述托起輥自由旋轉(zhuǎn)，一邊向與所述軸方向垂直的方向移動。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的圖案形成裝置，其特征在于，

所述第一保持單元以使所述有效區(qū)域的下方開放的狀態(tài)保持所述橡皮布的周緣部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圖案形成裝置，其特征在于，

所述第一保持單元具有環(huán)狀的保持框，該保持框具有與所述有效區(qū)域相對應(yīng)的開口，并且該保持框的與所述橡皮布的所述周緣部相對應(yīng)的上表面為平面，所述第一保持單元保持載置于該保持框上的所述橡皮布。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的圖案形成裝置，其特征在于，

所述圖案形成裝置具有用于與所述橡皮布的下表面局部抵接的輔助保持單元。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的圖案形成裝置，其特征在于，

所述第二保持單元具有板狀構(gòu)件，該板狀構(gòu)件的下表面為平面尺寸大于等于所述處理對象物的平面尺寸的平面，使所述處理對象物的上表面與該板狀構(gòu)件的下表面抵接來保持該處理對象物。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的圖案形成裝置，其特征在于，

所述第一保持單元具有抵接部，該抵接部的上表面為平坦且平面尺寸大于所述橡皮布的所述有效區(qū)域的平面尺寸的抵接面，通過該抵接面與所述橡皮布的下表面抵接來保持所述橡皮布，隨著所述托起單元移動，所述抵接部向所述托起單元的移動方向移動。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的圖案形成裝置，其特征在于，

所述第一保持單元具有多個局部支撐部，多個該局部支撐部分別與所述橡皮布的下表面局部抵接來從下表面?zhèn)戎嗡鱿鹌げ嫉乃鲇行^(qū)域，

多個所述局部支撐部沿著所述托起單元的移動方向排列設(shè)置，且能夠彼此獨立地進行升降。

10.一種圖案形成方法，其特征在于，

包括：

保持工序，將用于對圖案形成材料進行圖案成形的版或者要被轉(zhuǎn)印圖案的基板作為處理對象物，將該處理對象物保持為使處理對象面朝下的水平姿勢，并且將在一面上擔(dān)載有所述圖案形成材料的橡皮布保持為所述圖案形成材料的擔(dān)載面朝上的水平姿勢且使所述圖案形成材料的擔(dān)載面與所述處理對象物的下表面接近并相向；

托起工序，從所述橡皮布的下表面?zhèn)染植客衅鹚鱿鹌げ贾醒氩康挠行^(qū)域，來使所述有效區(qū)域與所述處理對象物相抵接，而且沿著所述橡皮布的下表面，使所述橡皮布的托起位置發(fā)生變化。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的圖案形成方法，其特征在于，

在所述保持工序中，以使所述有效區(qū)域的下方開放的狀態(tài)保持所述橡皮布的周緣部。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的圖案形成方法，其特征在于，

在所述托起工序中，將所述橡皮布的下表面的在一個軸方向上比所述有效區(qū)域的長度長的區(qū)域一同托起，并且使托起位置從所述有效區(qū)域的與該軸方向垂直的方向上的一端朝向另一端沿一個方向發(fā)生變化。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的圖案形成方法，其特征在于，

在所述保持工序中，保持所述橡皮布的與所述軸方向相垂直的方向上的兩端的周緣部。