[發(fā)明專利]分離電子元件多層堆疊的元件的系統(tǒng)和方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410043744.1 | 申請(qǐng)日： | 2014-01-29 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN104008955B | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-11-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | R·L·吳;X·張;C·M·菲澤;E·M·瑞海迪 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 波音公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/00 | 分類號(hào)： | H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11245 | 代理人： | 趙蓉民;張全信 |
| 地址： | 美國(guó)伊*** | 國(guó)省代碼： | 美國(guó);US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 分離 電子元件 多層 堆疊 元件 系統(tǒng) 方法 | ||
1.從電子元件多層堆疊(20)分離電子組件(30)的方法(100)，所述電子元件多層堆疊(20)包含所述電子組件、襯底(40)、陰極部分(36)和犧牲陽(yáng)極部分(44)，所述犧牲陽(yáng)極部分(44)位于所述電子組件和所述襯底之間并且將所述電子組件操作性地附接至所述襯底，所述方法包括：
將所述多層堆疊放置(115)在導(dǎo)電流體(12)內(nèi)以形成電化學(xué)電池(10)；
在所述陰極部分和所述犧牲陽(yáng)極部分之間生成(120)勢(shì)差；和
通過(guò)電化學(xué)氧化所述犧牲陽(yáng)極部分以便將所述犧牲陽(yáng)極部分溶解在所述導(dǎo)電流體內(nèi)而將所述電子組件與所述襯底分離(130)，
其中所述電子組件(30)進(jìn)一步包含犧牲光伏電池(48)，其位于所述陰極部分(36)和所述犧牲陽(yáng)極部分(44)之間并且與所述陰極部分(36)和所述犧牲陽(yáng)極部分(44)電連通和機(jī)械連通，并且進(jìn)一步其中所述生成(120)包括通過(guò)所述犧牲光伏電池生成所述勢(shì)差。
2.權(quán)利要求1所述的方法(100)，其中所述方法進(jìn)一步包括：
將電磁輻射(84)引導(dǎo)(122)至所述犧牲光伏電池上以開(kāi)始所述生成。
3.權(quán)利要求1所述的方法(100)，進(jìn)一步包括：
在所述陰極部分(36)和外部電源(70)的正端子之間建立(124)第一電連接；和
在所述犧牲陽(yáng)極部分(44)和所述外部電源的負(fù)端子之間建立第二電連接，其中所述生成包括通過(guò)所述外部電源在所述陰極部分和所述犧牲陽(yáng)極部分之間生成所述勢(shì)差。
4.權(quán)利要求1所述的方法(100)，其中所述多層堆疊(20)是第一多層堆疊，其中所述電子組件(30)是所述第一多層堆疊的第一電子組件，其中所述犧牲陽(yáng)極部分(44)是所述第一多層堆疊的第一犧牲陽(yáng)極部分，并且進(jìn)一步其中，在所述分離(130)之后，所述方法進(jìn)一步包括：
形成包含第二電子組件、所述襯底(40)和第二犧牲陽(yáng)極部分的第二多層堆疊，所述第二犧牲陽(yáng)極部分位于所述第二電子組件和所述襯底之間并且將所述第二電子組件操作性地附接至所述襯底。
5.權(quán)利要求1所述的方法(100)，其中所述陰極部分(36)和所述導(dǎo)電流體(12)限定第一半電池(14)，其限定第一半電池電壓，其中所述犧牲陽(yáng)極部分(44)和所述導(dǎo)電流體限定第二半電池(16)，其限定第二半電池電壓，并且進(jìn)一步其中所述生成(120)勢(shì)差包括生成大于所述第一半電池電壓和所述第二半電池電壓之間的差的勢(shì)差。
6.電子材料的多層堆疊(20)，其包括：
襯底(40)；
電子組件(30)；
犧牲陽(yáng)極部分(44)，其中所述犧牲陽(yáng)極部分位于所述電子組件和所述襯底之間并且將所述電子組件操作性地附接至所述襯底，并且進(jìn)一步其中所述犧牲陽(yáng)極部分配置為經(jīng)由電化學(xué)氧化被溶解以允許所述電子組件與所述襯底的分離，
其中所述電子組件(30)包含犧牲光伏電池(48)，其與所述犧牲陽(yáng)極部分(44)電連通并配置為將電勢(shì)施加至所述犧牲陽(yáng)極部分以為所述犧牲陽(yáng)極部分的溶解提供電力。
7.權(quán)利要求6所述的多層堆疊(20)，其中
所述電子組件進(jìn)一步包含陰極部分(36)，其與所述犧牲光伏電池電連通，其中所述犧牲光伏電池配置為在所述陰極部分和所述犧牲陽(yáng)極部分之間生成勢(shì)差以為所述犧牲陽(yáng)極部分的所述溶解提供電力；和
器件部分(32)，其中所述犧牲光伏電池位于所述襯底和所述器件部分之間。
8.權(quán)利要求7所述的多層堆疊(20)，其進(jìn)一步包括：
蝕刻停止部分，其位于所述犧牲光伏電池(48)和所述器件部分(32)之間并且將所述犧牲光伏電池操作性地附接至所述器件部分。
9.權(quán)利要求8所述的多層堆疊(20)，其中所述蝕刻停止部分包括外延的蝕刻停止層(52)。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
