[發明專利]大型中、高真空抽氣機組及其抽氣工藝

無效

• 申請號: 201410043412.3
• 申請日: 2014-01-29
• 公開（公告）號: CN103758733A
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發明（設計）人: 儲繼國
• 申請（專利權）人: 儲繼國
• 主分類號: F04B41/06
• 分類號: F04B41/06;F04B37/14;C23C14/56
• 代理公司: 廣東國欣律師事務所 44221
• 代理人: 姜勝攀

1.一種大型中、高真空抽氣機組，包括真空室，其特征在于，所述真空室分別與一粗抽泵、一牽引分子泵、一深冷水汽泵和一化學吸附泵連接，所述牽引分子泵的排氣口與一前級泵連接。

2.根據權利要求1所述的大型中、高真空抽氣機組，其特征在于，所述真空室和粗抽泵之間設有一第一真空閥，所述真空室和牽引分子泵之間設有一第二真空閥，所述真空室和深冷水汽泵之間設有一第三真空閥，所述真空室和化學吸附泵之間設有一第四真空閥，所述牽引分子泵的排氣口和前級泵之間設有一第五真空閥。

3.一種蒸發鍍膜設備，其特征在于，采用權利要求1或2所述的抽氣機組抽氣。

4.根據權利要求3所述的蒸發鍍膜設備，其特征在于，利用相鄰兩次鍍膜周期之間的間隔，采用所述蒸發鍍膜設備中的粗抽泵對深冷水汽泵實施真空升華再生。

5.一種真空爐，其特征在于，采用權利要求1或2所述的抽氣機組抽氣。

6.一種權利要求5所述的真空爐，其特征在于，在不中斷真空抽氣的條件下，利用真空抽氣機組，對深冷水汽泵實施真空升華再生。

7.一種如權利要求1或2所述的大型中、高真空抽氣機組的抽氣工藝，其特征在于包括如下步驟，

（1）粗抽階段（10⁵Pa~幾百Pa）：由粗抽泵抽氣；?

（2）中真空階段（幾百Pa~幾Pa）：由牽引分子泵或牽引分子泵+前級泵抽氣；

（3）高真空階段（幾Pa~10^-2?Pa）：由深冷水汽泵和牽引分子泵并聯抽氣；

（4）高真空階段（10^-2?Pa~所需的壓強）：由化學吸附泵、深冷水汽泵和牽引分子泵并聯抽氣。