[發(fā)明專利]鏡調(diào)整方法及鏡調(diào)整裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410042888.5
• 申請日: 2014-01-29
• 公開（公告）號: CN103972782A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 佐藤孝德;村上孝文
• 申請（專利權(quán)）人: 發(fā)那科株式會社
• 主分類號: H01S3/105
• 分類號: H01S3/105;B23K26/70
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 曾賢偉;曹鑫

1.一種鏡調(diào)整方法，其對鏡調(diào)整裝置(10)的第一鏡(21)及第二鏡(22)的傾角進(jìn)行調(diào)整，所述鏡調(diào)整裝置具備：

至少具備所述第一鏡及所述第二鏡的激光振蕩器(2)；

測定來自該激光振蕩器的激光輸出的激光輸出測定部(25)；

調(diào)整所述第一鏡的傾角的第一調(diào)整部(51)；以及

調(diào)整所述第二鏡的傾角的第二調(diào)整部(51’)，

所述鏡調(diào)整方法的特征在于，

在由所述第一調(diào)整部將所述第一鏡的傾角設(shè)定為初始值的狀態(tài)下，將由所述第二調(diào)整部調(diào)整為使得由所述激光輸出測定部測定的所述激光輸出為最大值的所述第二鏡的傾角、所述第一鏡的傾角和所述激光輸出的所述最大值作為第一組進(jìn)行存儲；

在由所述第一調(diào)整部將所述第一鏡的傾角從初始值向正方向變更了預(yù)定值的狀態(tài)下，將由所述第二調(diào)整部調(diào)整為使得由所述激光輸出測定部測定的所述激光輸出為最大值的所述第二鏡的傾角、所述第一鏡的傾角和所述激光輸出的所述最大值作為第二組進(jìn)行存儲；

在由所述第一調(diào)整部將所述第一鏡的傾角從初始值向負(fù)方向變更了預(yù)定值的狀態(tài)下，將由所述第二調(diào)整部調(diào)整為使得由所述激光輸出測定部測定的所述激光輸出為最大值的所述第二鏡的傾角、所述第一鏡的傾角和所述激光輸出的所述最大值作為第三組進(jìn)行存儲；

基于所述第一組、所述第二組和所述第三組，計算對應(yīng)于所述第一鏡的傾角的所述激光輸出的第一近似曲線和對應(yīng)于所述第二鏡的傾角的所述激光輸出的第二近似曲線，

由所述第一調(diào)整部將所述第一鏡的傾角設(shè)定為相當(dāng)于所述第一近似曲線的極大值的值，

由所述第二調(diào)整部將所述第二鏡的傾角設(shè)定為相當(dāng)于所述第二近似曲線的極大值的值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏡調(diào)整方法，其中，

所述第一近似曲線及所述第二近似曲線為二次函數(shù)。

3.一種鏡調(diào)整方法，其對鏡調(diào)整裝置(10)的第一鏡(21)及第二鏡(22)的傾角進(jìn)行調(diào)整，所述鏡調(diào)整裝置具備：

至少具備所述第一鏡及所述第二鏡的激光振蕩器(2)；

測定來自該激光振蕩器的激光輸出的激光輸出測定部(25)；

調(diào)整所述第一鏡的傾角的第一調(diào)整部(51)；以及

調(diào)整所述第二鏡的傾角的第二調(diào)整部(51’)，

所述鏡調(diào)整方法的特征在于，

在由所述第一調(diào)整部將所述第一鏡的傾角設(shè)定為初始值的狀態(tài)下，將由所述第二調(diào)整部調(diào)整所述第二鏡的傾角為使得由所述激光輸出測定部測定的所述激光輸出為最大值時的所述第一鏡的傾角和所述激光輸出的所述最大值作為第一組進(jìn)行存儲；

在由所述第一調(diào)整部將所述第一鏡的傾角從初始值向正方向變更了預(yù)定值的狀態(tài)下，將由所述第二調(diào)整部調(diào)整所述第二鏡的傾角為使得由所述激光輸出測定部測定的所述激光輸出為最大值時的所述第一鏡的傾角和所述激光輸出的所述最大值作為第二組進(jìn)行存儲；

在由所述第一調(diào)整部將所述第一鏡的傾角從初始值向負(fù)方向變更了預(yù)定值的狀態(tài)下，將由所述第二調(diào)整部調(diào)整所述第二鏡的傾角為使得由所述激光輸出測定部測定的所述激光輸出為最大值時的所述第一鏡的傾角和所述激光輸出的所述最大值作為第三組進(jìn)行存儲；

基于所述第一組、所述第二組和所述第三組，計算對應(yīng)于所述第一鏡的傾角的所述激光輸出的近似曲線，

由所述第一調(diào)整部將所述第一鏡的傾角設(shè)定為相當(dāng)于所述第一近似曲線的極大值的值，

由所述第二調(diào)整部調(diào)整所述第二鏡的傾角，使得由所述激光輸出測定部測定的所述激光輸出為最大值。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鏡調(diào)整方法，其中，

所述近似曲線為二次函數(shù)。