[發明專利]液體滴下裝置

無效

• 申請號: 201410042814.1
• 申請日: 2011-05-20
• 公開（公告）號: CN103817393A
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發明（設計）人: 川島崇;進藤修;水野亨
• 申請（專利權）人: TDK株式會社
• 主分類號: B23K3/06
• 分類號: B23K3/06;B23K3/00
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 楊光軍;段承恩

本申請是申請號為201110132507.9、發明名稱為“液體滴下裝置”、申請日為2011年5月20日的發明專利申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及向對象物滴下微少量的液體的液體滴下（滴液）裝置。更詳細地講，涉及對于軟釬料（焊料）所例示的熔融金屬等的在特定的條件下維持液體狀態的物質，能夠將其以微少量的液體的形式操作處理并對滴下對象物適合地滴下的液體滴下裝置。

背景技術

例如在磁頭的制造工序中，通過在多個電極間配置由軟釬料形成的導電性的微小球，將其熔融并進一步地使其對于各個電極進行固著，來進行該電極間的電接合（參照專利文獻1）。在此，現在磁頭的微小化、高功能化在推進，在電極數增加的同時電極自身也變小，作為結果，導電性的球也不得不微小化。如果導電性球變為例如100μm以下的直徑，則會產生個別的操作處理變得困難，并且操作處理中所謂污染物附著、或者該球體的價格自身變高昂這樣的課題。

基于這樣的背景，如專利文獻2至5所公開的那樣，曾提出了直接對被接合物吐出熔融軟釬料，并使其附著的技術。根據該技術，伴隨著上述的導電性球的使用而產生的課題得到解決。在這些技術中，使蓄積了熔融金屬的液體蓄積部發生體積變化，利用該體積變化從該液體蓄積部吐出規定量的熔融金屬。

現有技術文獻

專利文獻1：日本特開2009-028781號公報

專利文獻2：日本特開2000-294591號公報

專利文獻3：日本特開平10-137930號公報

專利文獻4：日本特開2003-334654號公報

專利文獻5：日本特開2006-075781號公報

專利文獻6：日本特開平02-175254號公報

專利文獻7：日本特開2001-232245號公報

專利文獻8：日本特開2009-000719號公報

發明內容

在此，作為使液體微少量地滴下或者吐出的方法，還已知專利文獻6或7所公開的技術。在這些方法中，就基本上利用液體的體積變化來滴下規定量的液體的情形而言，與上述的現有技術同樣。然而，在利用體積變化的情況下，如果氣體混入到液體中，則體積變化與為了體積變化而施加的壓力的變化的關系不成為一次曲線。因此，隨著液體的滴下量變為微小，向液體中混入氣體對滴下精度的影響變大。由以上的情況來看，在專利文獻2至7所公開的技術中，通過在不存在氣體的被密閉的空間內形成液體蓄積部，并進行在該空間內的體積變化，能夠進行規定量的液體的滴下。

例如，在專利文獻8所示的構成中，通過考慮與蓄積的液體的所謂潤濕性而構成該空間的內壁，來防止氣體向噴嘴內部的侵入。該文獻可以說是通過反向說明而示出了在微少量的液體滴下時氣體向噴嘴內的混入會成為大的問題。另外，在為這樣的結構的噴嘴的情況下，在液體由樹脂構成時，也可通過分解噴嘴、進行各部件的洗滌來進行維護。但是，在液體為熔融金屬的情況下，必須除去已固化的金屬。

本發明是鑒于以上的狀況而完成的，其目的在于提供一種液體滴下裝置，其可以通過采用上述的體積變化以外的方法來消除對于噴嘴的氣體侵入等的影響，并且可以利用維護性優異的簡單的結構實現微小量的液體滴下。

為了解決上述課題，本發明涉及的液體滴下裝置是滴下規定量的液體的液體滴下裝置，其特征在于，具有：

液體接受部，該液體接受部蓄積液體而形成液體蓄積部；

噴嘴，該噴嘴具有與在液體接受部中蓄積液體的區域連通并且液體能夠通過的噴嘴孔；

致動器（促動器；actuator）；和

桿，該桿的一個端部被浸漬于液體蓄積部中，另一端部被致動器支持，能夠沿噴嘴孔的形成軸方向移動，

所述桿通過致動器能夠在形成軸方向上直線運動，通過桿的直線運動而使液體蓄積部的一部分產生波動能，液體因波動能而從噴嘴孔滴下。