[發(fā)明專利]用于激光退火機(jī)的監(jiān)控方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410042474.2
• 申請日: 2014-01-29
• 公開（公告）號: CN103745947A
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邱裕明;肖天金
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 陸花

1.一種用于激光退火機(jī)的監(jiān)控方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一：對激光退火機(jī)上的監(jiān)控片進(jìn)行顆粒水平的測量，獲得顆粒測量前值；

步驟二：在所述激光退火機(jī)內(nèi)采用第一功率值對所述監(jiān)控片進(jìn)行激光掃描；

步驟三：對所述監(jiān)控片進(jìn)行顆粒水平的測量，獲得顆粒測量后值；

步驟四：采用快速熱退火的方法對所述監(jiān)控片進(jìn)行退火；

步驟五：在所述監(jiān)控片上注入過硼；

步驟六：在所述激光退火機(jī)內(nèi)采用第二功率值對所述監(jiān)控片進(jìn)行激光掃描，所述第二功率值大于所述第一功率值；

步驟七：對所述監(jiān)控片進(jìn)行方塊電阻阻值的測量，獲得方塊電阻阻值的測量值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于激光退火機(jī)的監(jiān)控方法，其特征在于：通過計(jì)算所述顆粒測量前值和所述顆粒測量后值的差判斷所述激光退火機(jī)的機(jī)臺(tái)內(nèi)部的潔凈度是否合格。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于激光退火機(jī)的監(jiān)控方法，其特征在于：所述顆粒測量前值和所述顆粒測量后值的差和所述激光退火機(jī)的機(jī)臺(tái)內(nèi)部的潔凈度成反比。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于激光退火機(jī)的監(jiān)控方法，其特征在于：通過所述方塊電阻阻值和預(yù)設(shè)值的差來判斷所述激光退火機(jī)的激光溫度的穩(wěn)定性是否合格。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于激光退火機(jī)的監(jiān)控方法，其特征在于：所述方塊電阻阻值和所述預(yù)設(shè)值的差越小，所述激光退火機(jī)的激光溫度的穩(wěn)定性越高。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于激光退火機(jī)的監(jiān)控方法，其特征在于：所述第一功率值的范圍為800W到1000W。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于激光退火機(jī)的監(jiān)控方法，其特征在于：所述第一功率值為900W。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于激光退火機(jī)的監(jiān)控方法，其特征在于：所述第二功率值的范圍為2700W到3300W。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于激光退火機(jī)的監(jiān)控方法，其特征在于：所述第一功率值為3000W。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于激光退火機(jī)的監(jiān)控方法，其特征在于：所述快速熱退火的方法為脈沖激光快速退火、脈沖電子束快速退火、離子束快速退火或者連續(xù)波快速激光退火。