[發明專利]自動擴展缺陷圖形庫的方法

有效

• 申請號: 201410042444.1
• 申請日: 2014-01-29
• 公開（公告）號: CN103745072A
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發明（設計）人: 朱忠華;王偉斌;魏芳;朱駿;張旭升
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50;G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 陸花

1.一種自動擴展缺陷圖形庫的方法，其特征在于包括：

第一步驟，用于準備表示原始缺陷圖形的缺陷圖形原始數據；

第二步驟，用于通過使得所述原始缺陷圖形的一部分相對于所述原始缺陷圖形的剩余部分移動，和/或通過使得所述原始缺陷圖形的至少一部分的關鍵尺寸變化，對所述原始缺陷圖形的關鍵尺寸進行分批演變，由此自動生成虛擬缺陷圖形數據庫；

第三步驟，用于對虛擬缺陷圖形進行工藝偏差模擬，并根據工藝偏差模擬的結果篩選出新的缺陷圖形；

第四步驟，用于將新的缺陷圖形添加到缺陷圖形庫以形成新的缺陷圖形數據，由此使缺陷圖形庫得到擴展。

2.根據權利要求1所述的自動擴展缺陷圖形庫的方法，其特征在于，在第二步驟中，在通過使得所述原始缺陷圖形的至少一部分的關鍵尺寸變化的情況下，根據參考缺陷圖形自身的缺陷位置來確定關鍵尺寸變化。

3.根據權利要求1或2所述的自動擴展缺陷圖形庫的方法，其特征在于，在第二步驟中，在使得所述原始缺陷圖形的一部分相對于所述原始缺陷圖形的剩余部分移動的情況下，單邊圖像的移動距離小于1/3關鍵尺寸，多邊形圖像的移動距離小于1倍關鍵尺寸。

4.根據權利要求1或2所述的自動擴展缺陷圖形庫的方法，其特征在于，在第二步驟S2中，在使得所述原始缺陷圖形的一部分相對于所述原始缺陷圖形的剩余部分移動的情況下，多次對所述剩余部分移動，并且在每次移動所述剩余部分之后產生一次虛擬缺陷圖形。

5.根據權利要求4所述的自動擴展缺陷圖形庫的方法，其特征在于，每次移動所述剩余部分的移動距離為0.005um。