[發明專利]一種基于拉曼散射的應力作用下薄膜材料熱導率的測量方法有效
| 申請號： | 201410042370.1 | 申請日： | 2014-01-28 |
| 公開（公告）號： | CN103776814A | 公開（公告）日： | 2014-05-07 |
| 發明（設計）人： | 畢可東;趙偉瑋;陳偉宇;倪振華;陳云飛 | 申請（專利權）人： | 東南大學 |
| 主分類號： | G01N21/65 | 分類號： | G01N21/65 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 散射 應力 作用 薄膜 材料 熱導率 測量方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于拉曼散射的應力作用下薄膜材料熱導率的測量方法，其特征在于，利用柔性基底（5）對樣品施加應力，利用拉曼散射測量薄膜材料的熱導率，該方法具體包括：
采用激光器（1）輸出533納米波長激光；
激光器（1）輸出的533納米波長激光通過分光鏡（2），將533納米波長激光分為二束光，第一束光用于激發拉曼散射入射應力施加系統（4）中的樣品（6）；第二束光用于信號采集，作為參照光入射反射鏡（3）；
其中，第二束光采用反射鏡（3）以及分光鏡（7）改變參照光光路方向；用于激發拉曼散射的第一束光照射到樣品（6）后，經過分光鏡（7）進入拉曼探測器（8）；
由拉曼探測器（8）采集拉曼信號，采集時關閉光學圖像采集器（9），其中光學圖像采集器（9）所用光為自然光；
由數據采集系統（10）分析處理采集得到的拉曼信號。
2.根據權利要求1所述的基于拉曼散射的應力作用下薄膜材料熱導率的測量方法，其特征在于所述利用柔性基底（5）對樣品施加應力的方法為：在柔性基底（5）上加工微米大小直徑的孔，再將待測的樣品（6）轉移到柔性基底（5）上，并保證樣品覆蓋柔性基底（5）上的孔。
3.根據權利要求1所述的基于拉曼散射的應力作用下薄膜材料熱導率的測量方法，其特征在于所述對樣品施加應力，是通過對柔性基底（5）兩端進行機械拉伸，從而對樣品（6）施加機械應力。
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