[發明專利]具備測定內部鏡體體的傾斜量的傾斜測定部的激光振蕩器

無效

• 申請號: 201410042139.2
• 申請日: 2014-01-28
• 公開（公告）號: CN103972774A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發明（設計）人: 佐藤孝德;村上孝文
• 申請（專利權）人: 發那科株式會社
• 主分類號: H01S3/08
• 分類號: H01S3/08;H01S3/081;G01C9/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強;嚴星鐵

技術領域

本發明涉及具備測定內部鏡體的傾斜量的傾斜測定部的激光振蕩器。

背景技術

激光振蕩器用于工件的切割、焊接等。激光振蕩器的輸出會隨著諧振器所具備的內部鏡體的臟污或劣化而下降。因此，必須定期從諧振器拆下內部鏡體來進行清洗或者更換。而且，將內部鏡體再次組裝入諧振器之后，必須通過調整內部鏡體的傾斜量來調整諧振器的光軸。

以往的激光振蕩器中的諧振器的光軸是按照下述方式進行調整的。首先，選擇諧振器的多個內部鏡體中的兩個鏡體。此外，這些內部鏡體安裝在具備使內部鏡體向互相正交的兩個方向傾斜的兩個調整部的載臺上。

使所選擇的兩個鏡體中的第一鏡體向正交的兩個方向中的一個方向以某個量傾斜。接著，使另外的第二鏡體向同一方向傾斜，并調整第二鏡體的傾斜量使激光輸出值達到最大。分別記錄此時的第一鏡體的傾斜量和激光輸出的最大值。變更第一鏡體的傾斜量并多次重復上述處理，就能得到第一鏡體的傾斜量與激光輸出值的關系。

圖7是表示所選擇的兩個鏡體中的第一鏡體的傾斜量X與激光輸出值Y的關系R的圖。如圖7所示，激光輸出值Y在傾斜量X0處具有峰值Y0。而且，在比該峰值Y0小規定的比例Δ的輸出值Y1處引出相對于橫軸平行的直線L。規定的比例Δ設定在例如峰值Y0的10%～30%的范圍內。將該直線L與關系R的圖表的交點所對應的傾斜量設定為X1、X2。然后，使第一鏡體以與傾斜量X1、X2的中點對應的傾斜量XM傾斜。接著，調整第二鏡體的傾斜量使激光的輸出值達到最大。如此，能夠使激光在調整后的第一鏡體與第二鏡體之間通過的透過面積最大化。

然后，在正交的兩個方向中的另一個方向上也進行同樣的操作。當使用數量多于兩個的內部鏡體時，對于其他的內部鏡體也選擇能調整的組合并依次進行同樣的操作。這樣，能夠得到透過面積大、干擾小、輸出損失少的激光。

為了調整這種內部鏡體的傾斜量，有時會使用測微計。該情況下，是使用測微計調整保持鏡體的載臺的高度。測微計兼有作為使鏡體傾斜的調整部的作用和作為測定傾斜量的傾斜測定部的作用。

此外，還公知有組合調整螺釘及位移傳感器來調整鏡體的傾斜量的技術（參見JP-A-63-038354）。另外，在JP-A-63-038354中公開了如下激光振蕩器，其具有圓筒型容器；以能夠調整傾斜角度的方式安裝在環狀部件上的鏡體，該環狀部件安裝在該容器上；保持鏡體的鏡體保持部；以及使鏡體保持部相對于環狀部件位移的調整螺釘，且還具備測定鏡體保持部的移動量的傳感器。

在以往的調整鏡體的傾斜量的調整方法中，對于使鏡體傾斜的一個調整部設置一個傾斜測定部。因此，為了使鏡體向正交的兩個方向傾斜，必須具有兩個調整部以及兩個傾斜測定部，結果，存在諧振器的結構變復雜、成本增加的傾向。

因此，期望一種具有簡單結構的價格低廉的激光振蕩器。

發明內容

根據本申請的第一技術方案，提供一種激光振蕩器，其具備至少兩個鏡體和以能夠相對于光軸傾斜的方式保持上述至少兩個鏡體的鏡體保持部，上述鏡體保持部進一步具備：使上述鏡體傾斜的兩個傾斜調整部；作為使上述鏡體傾斜時的支點起作用的支點部；以及測定上述鏡體因上述兩個傾斜調整部而傾斜的傾斜量的一個傾斜測定部，上述傾斜測定部配置在連結上述支點部和上述傾斜調整部的直線之外的區域。

根據本申請的第二技術方案，在第一技術方案所述的激光振蕩器中，上述傾斜測定部形成為相對于上述鏡體保持部能夠裝卸。

根據本申請的第三技術方案，在第一或第二技術方案所述的激光振蕩器中，上述傾斜測定部進一步具備位移計、視覺性地顯示該位移計的測定值的顯示部以及向外部輸出上述位移計的測定值的輸出部。

對照附圖所示的本發明的例示實施方式的詳細說明，本發明的上述及其他目的、特征以及優點將更加明了。

附圖說明

圖1是表示本發明的一個實施方式的激光振蕩器的諧振器的結構的圖。

圖2是表示鏡體保持部的剖視圖。

圖3是表示鏡體保持部的支點部、傾斜調整部以及傾斜測定部的位置關系的圖。

圖4A是用于說明鏡體保持部的傾斜測定部的作用的圖。

圖4B是用于說明鏡體保持部的傾斜測定部的作用的圖。

圖5是表示變形例的激光振蕩器中的鏡體保持部的支點部、傾斜調整部以及傾斜測定部的位置關系的圖。

圖6A是用于說明圖5所示的鏡體保持部的傾斜測定部的作用的圖。

圖6B是用于說明圖5所示的鏡體保持部的傾斜測定部的作用的圖。