[發明專利]硅塊表面質量的檢測裝置及檢測方法

無效

• 申請號: 201410041459.6
• 申請日: 2014-01-28
• 公開（公告）號: CN103759678A
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發明（設計）人: 譚永峰;劉華;郝剛;章金兵
• 申請（專利權）人: 江西賽維LDK太陽能高科技有限公司
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30;G01J1/10
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種硅塊表面質量的檢測裝置，用于對硅塊表面質量進行檢測，所述硅塊表面質量的檢測裝置包括檢測器及處理器，所述檢測器用于感測所述硅塊表面以得到硅塊表面的圖像信號，所述處理器與所述檢測器相互信號連接，所述處理器包括圖像處理模塊及計算模塊，所述圖像處理模塊用于通過圖像處理的方法取得所述檢測器檢測到的圖像的灰度值，所述計算模塊分析計算得出灰度值大于預定灰度值的區域面積，并計算得出灰度值大于預定灰度值的區域面積占所述檢測器檢測到的整個圖像面積的比例，得到亮斑比。

2.如權利要求1所述的硅塊表面質量的檢測裝置，其特征在于，所述檢測器為數碼顯微鏡，所述檢測器的放大倍數在100-200倍之間。

3.如權利要求1所述的硅塊表面質量的檢測裝置，其特征在于，所述硅塊表面質量的檢測裝置還包括顯示器，所述顯示器與所述處理器信號連通，用于顯示所述硅塊表面的圖像。

4.一種硅塊表面質量的檢測方法，包括步驟:

提供如權利要求1至3任一項所述的硅塊表面質量的檢測裝置；

將磨面后的硅塊放置于工作臺；以及

采用檢測器對硅塊的表面進行檢測，所述處理器通過處理及計算得到所述硅塊表面的亮斑比。

5.如權利要求4所述的硅塊表面質量的檢測方法，其特征在于，在進行檢測時，所述檢測器直接放置于待檢測的硅塊表面，所述檢測器與處理器信號連通，所述檢測器將檢測到的圖像信號傳送至處理器，所述處理器的圖像處理模塊通過圖像處理的方法取得所述檢測器檢測到的圖像的灰度值，所述計算模塊計算得出灰度值大于預定灰度值的區域面積，并計算得出灰度值大于預定灰度值的區域面積占所述檢測器檢測到的整個圖像面積的比例，得到亮斑比。

6.如權利要求5所述的硅塊表面質量的檢測方法，其特征在于，所述預定灰度值介于120-200之間。

7.如權利要求4所述的硅塊表面質量的檢測方法，其特征在于，所述硅塊表面質量的檢測裝置還包括顯示器，所述顯示器與所述控制器信號連通，在對硅塊表面進行檢測時，還包括采用所述顯示器檢測所述檢測器檢測到的圖像。