[發明專利]一種光刻膠組合物

有效

• 申請號: 201410040176.X
• 申請日: 2014-01-27
• 公開（公告）號: CN103792789A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 王雪嵐
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G03F7/027
• 分類號: G03F7/027;G03F7/004
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 李迪

1.一種光刻膠組合物，按重量份計，包括：聚醚改性的有機硅流平劑580.1-1.0份，多官能基單體7-23份；堿可溶樹脂13-29份；顏料分散體23-62.8份；光引發劑1.5-11.9份；溶劑10-45份。

2.根據權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述光刻膠組合物按重量百分比計，包括：聚醚改性的有機硅流平劑580.3-0.77份，多官能基單體10-18份；堿可溶樹脂14.6-23份；顏料分散體33.2-48.72份；光引發劑3.5-8份；溶劑15-35份。

3.根據權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述多官能基單體選自二丙二醇二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、雙季戊四醇五/六丙烯酸酯、五丙烯酸酯、異戊四醇四丙烯酸酯中的兩種或多種。

4.根據權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述多官能基單體以二丙二醇二丙烯酸酯和雙季戊四醇五/六丙烯酸酯配合使用、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯和雙季戊四醇五/六丙烯酸酯配合使用、二丙二醇二丙烯酸酯和異戊四醇四丙烯酸酯配合使用、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯和異戊四醇四丙烯酸酯配合使用、二丙二醇二丙烯酸酯和五丙烯酸酯配合使用、乙氧基化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯和雙季戊四醇五/六丙烯酸酯配合使用、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯和五丙烯酸值配合使用、二丙二醇二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯和雙季戊四醇五/六丙烯酸酯配合使用、二丙二醇二丙烯酸酯、乙氧化基三羥甲基丙烷三丙烯酸酯和異戊四醇四丙烯酸酯配合使用。

5.根據權利要求1或2所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述堿可溶樹脂為甲基丙烯酸芐酯、甲基丙烯酸甲酯和/或甲基丙烯酸丁酯的共聚物。

6.根據權利要求5所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述的堿可溶性樹脂為甲基丙烯酸芐酯、甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸丁酯的共聚物，三者的質量比為58～73:5～8:19～23，重均分子量范圍為8000～15000，酸度為85～120。

7.根據權利要求1或2所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述顏料分散體選自紅色顏料、綠色顏料、黃色顏料、藍色顏料或紫色顏料。

8.根據權利要求1或2所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述光引發劑包括但不限于安息香類光引發劑、二苯甲酮類光引發劑、蒽醌類光引發劑、酰基磷氧化物。

9.根據權利要求1或2所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述溶劑選自丙二酮甲醚醋酸酯、丙二醇二乙酸酯、3-乙氧基-3-亞胺丙酸乙酯、2-庚烷、3-庚烷、環戊酮、環己酮中的一種或多種。

10.根據權利要求1或2所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述光刻膠組合物進一步包括偶聯劑、抗氧化劑、紫外吸收劑、消泡劑中的一種或多種。