[發明專利]等離子體處理腔室部件的溫度受控窗

有效

• 申請號: 201410040141.6
• 申請日: 2014-01-27
• 公開（公告）號: CN103974518B
• 公開（公告）日: 2018-10-02
• 發明（設計）人: 馬特·布舍;亞當·梅斯;邁克爾·康;艾倫·龍尼
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;G05D23/22
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 李獻忠

1.一種電感耦合等離子體處理腔室的溫度受控介電窗，其包括：

形成所述等離子體處理腔室的頂壁的介電窗，該介電窗中具有至少第一和第二通道，所述第一和第二通道中的每一個都具有使溫度受控液體在所述通道中循環的入口和出口；以及

液體循環系統，其具有在不與所述通道流體連通的第一閉環中循環的冷液體源、在與所述通道流體連通的第二閉環中循環的熱液體源，以及至少第一和第二換熱器；

所述第一換熱器連接至所述冷液體源、所述熱液體源和所述第一通道的入口，以使冷液體以可控流速通過所述第一換熱器并且隨著熱液體通過所述第一換熱器且隨后通過所述第一通道的入口而通過與冷液體進行換熱來調節熱液體的溫度；

所述第二換熱器連接至所述冷液體源、所述熱液體源和所述第二通道的入口，以使冷液體以可控流速通過所述第二換熱器并且隨著熱液體通過所述第二換熱器且隨后通過所述第二通道的入口而通過與冷液體進行換熱來調節熱液體的溫度。

2.如權利要求1所述的溫度受控介電窗，其中:

所述第一閉環包括主線路、與所述主線路和所述第一換熱器流體連通的第一分支線路、與所述主線路和所述第二換熱器流體連通的第二分支線路、沿著所述第一和第二分支線路的閥、以及使來自所述第一和第二換熱器的冷液體返回到冷液體源的返回線路，

所述液體循環系統包括控制系統，所述控制系統接收來自嵌入到所述介電窗中的熱電偶的信號以及來自測量通過所述第一和第二換熱器的冷液體的流速的控制閥的信號，以及

所述控制系統操作所述控制閥以控制通過所述第一和第二換熱器的冷液體的流速。

3.如權利要求1所述的溫度受控介電窗，其中所述介電窗包括陶瓷材料制頂板和陶瓷材料制底板，所述頂板具有在其下表面中的所述第一和第二通道，并且所述頂板和底板通過共燒或者通過粘合而連結。

4.如權利要求3所述的溫度受控介電窗，其中所述第一和第二通道具有0.01至0.03英寸的高度以及1至2英寸的寬度。

5.如權利要求1所述的溫度受控介電窗，其中所述熱液體是介電液體并且所述冷液體是水。

6.如權利要求1所述的溫度受控介電窗，還包括覆在所述介電窗的上表面上的歧管，所述歧管具有水平對齊并與所述入口和出口垂直對準的流道以及水平對齊并與所述介電窗的所述上表面中的安裝孔垂直對準的安裝孔。

7.如權利要求1所述的溫度受控介電窗，其中所述介電窗包括在所述介電窗中央的鏜孔，所述鏜孔被構造成接納氣體噴射器，所述氣體噴射器將處理氣體輸送到所述等離子體處理腔室中。