[發(fā)明專利]減壓處理裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410038811.0
• 申請日: 2014-01-27
• 公開（公告）號: CN103972134A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 松崎榮;增田隆俊
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;蔡麗娜

1.一種減壓處理裝置，其在減壓狀態(tài)下處理被加工物，其特征在于，所述減壓處理裝置具有：

殼體，其具有第1減壓室和第2減壓室，該第1減壓室用于處理被加工物，該第2減壓室與該第1減壓室通過間隔壁而被劃分開并經(jīng)由設(shè)置在該間隔壁上的連通開口而連通；

擋板單元，其對設(shè)置在該間隔壁上的該連通開口進行開閉；

門單元，其對形成在該殼體上并與該第2減壓室連通的被加工物搬入搬出用開口進行開閉；

被加工物保持單元，其配設(shè)在該第1減壓室中，用于保持被加工物；

處理單元，其對由該被加工物保持單元保持的被加工物實施處理；

第1減壓單元，其對該第1減壓室進行減壓；

第2減壓單元，其對該第2減壓室進行減壓；

臨時放置單元，其配設(shè)在該第2減壓室中，用于臨時放置被加工物；以及

被加工物輸送單元，其使載置于該臨時放置單元的被加工物穿過設(shè)置在該間隔壁上的該連通開口而輸送到配設(shè)在該第1減壓室中的該被加工物保持單元，并且使載置于該被加工物保持單元的被加工物穿過設(shè)置在該間隔壁上的該連通開口而輸送到該臨時放置單元，

該被加工物保持單元具有：保持被加工物的中央?yún)^(qū)域的中央保持臺；和使該中央保持臺升降的升降單元，

該被加工物輸送單元具有支撐被加工物的外周區(qū)域的外周支撐部件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減壓處理裝置，其中，

該被加工物輸送單元的該外周支撐部件具有2個支撐部，所述2個支撐部的間隔比該中央保持臺大，所述2個支撐部用于對被加工物的外周區(qū)域進行支撐。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的減壓處理裝置，其中，

該被加工物是貼附在安裝于環(huán)狀框架的切割帶上的半導(dǎo)體晶片，該中央保持臺保持半導(dǎo)體晶片的區(qū)域，該外周支撐部件的該2個支撐部支撐環(huán)狀框架的區(qū)域。