[發(fā)明專利]一種鐵電存儲器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410038707.1
• 申請日: 2014-01-26
• 公開（公告）號: CN103762311A
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 常琦
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇巨邦環(huán)境工程集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號: H01L51/05
• 分類號: H01L51/05;H01L51/30
• 代理公司: 北京同輝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11357
• 代理人: 劉洪勛

1.一種鐵電存儲器的鐵電薄膜電容，包括：

基底層1，上電極層2、上電極緩沖層3、鐵電薄膜層4、下電極緩沖層5、下電極層6、粘結(jié)層7和阻擋層8。

其中多取代基的硅雜環(huán)己二烯摻雜到鉛鋯鈦薄膜層中，形成鐵電薄膜層4，多種取代基的硅雜環(huán)己二烯：

式(1)中，R1、R2相同或不同，代表烷基或芳基；R3代表氫、醛基、酮基、酯基、磷酸基；R4代表烷基、芳基；R5代表氫、烷基、烯基、芳基；R6代表烷基、芳基。上述的烷基優(yōu)選C1-C6的直鏈或支鏈烷基，如甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基、戊基、己基等。

2.如權(quán)利要求1所述的鐵電薄膜電容，其特征在于，上述芳基優(yōu)選苯基和取代苯基，所述取代苯例如甲苯基、對甲氧苯基等。上述酮基優(yōu)選-COR，其中R代表甲基、乙基、丙基、苯基等。上述酯基優(yōu)選-COOR′，其中R′代表甲基、乙基、丙基、苯基等。上述烯基優(yōu)選C2-C8的鏈烯基，例如：乙烯基、丙稀基、丁烯基、戊烯基等。

本發(fā)明的優(yōu)選多取代硅雜環(huán)己二烯選自下列化合物Ia～I(xiàn)f：

Ia：R1＝R2＝Me，R3＝COOMe，R4＝Ph，R5＝H，R6＝Ph；

Ib：R1＝R2＝Ph，R3＝COOMe，R4＝Ph，R5＝H，R6＝Ph；

Ic：R1＝R2＝Me，R3＝COPh，R4＝Ph，R5＝H，R6＝Ph；

Id：R1＝R2＝Me，R3＝COOMe，R4＝Ph，R5＝(1-丙基)-1-戊烯基，R6＝Ph；

Ie：R1＝R2＝Me，R3＝COOMe，R4＝Bu，R5＝Et，R6＝Bu；

If：R1＝R2＝Ph，R3＝COOMe，R4＝Bu，R5＝Et，R6＝Bu。