[發(fā)明專利]一種磨削碳化硅晶體端面的方法及裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410036092.9 | 申請(qǐng)日： | 2014-01-24 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN103722460A | 公開（公告）日： | 2014-04-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 柏文文;高輝;任啟磊;張健;高玉強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 山東天岳先進(jìn)材料科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B7/17 | 分類號(hào)： | B24B7/17;B24B53/06 |
| 代理公司： | 濟(jì)南舜源專利事務(wù)所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250000 山東省濟(jì)南市歷下*** | 國(guó)省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 磨削 碳化硅 晶體 端面 方法 裝置 | ||
1.一種磨削碳化硅晶體端面的方法，其特征在于：采用同一設(shè)備將至少兩塊的待磨削晶體同時(shí)定位，同時(shí)對(duì)砂輪修整裝置同步定位，之后即可進(jìn)行晶體的磨削。
2.一種磨削碳化硅晶體端面的裝置，包括基座（11），其特征在于：所述的基座（11）上設(shè)置有晶體定位油缸和砂輪修整定位油缸（5），所述基座（11）兩側(cè)還設(shè)置有支撐板（10），所述的支撐板（10）上活動(dòng)連接有晶體安裝定位平板（12）。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于：所述的晶體定位油缸頂端設(shè)置有磁力吸盤（13）。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于：所述的晶體安裝定位平板（12）通過(guò)快速鏈接銷固定在基座兩側(cè)的支撐板（10）上。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于：所述的基座（11）中心設(shè)置砂輪修整定位油缸（5），在其周圍呈正方形或圓形均勻分布有晶體定位油缸。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于：所述的晶體定位油缸并聯(lián)在同一油路上，所述的砂輪修整定位油缸單獨(dú)連接在另一油路上。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于：所述晶體定位油缸的主供油管路上設(shè)置有壓力傳感器和電磁閥；每個(gè)定位油缸的供油管路上均安裝有液控自鎖緊裝置。
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