[發明專利]一種磨削碳化硅晶體端面的方法及裝置有效
| 申請號： | 201410036092.9 | 申請日： | 2014-01-24 |
| 公開（公告）號： | CN103722460A | 公開（公告）日： | 2014-04-16 |
| 發明（設計）人： | 柏文文;高輝;任啟磊;張健;高玉強 | 申請（專利權）人： | 山東天岳先進材料科技有限公司 |
| 主分類號： | B24B7/17 | 分類號： | B24B7/17;B24B53/06 |
| 代理公司： | 濟南舜源專利事務所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250000 山東省濟南市歷下*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 磨削 碳化硅 晶體 端面 方法 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種磨削碳化硅晶體端面的方法，其特征在于：采用同一設備將至少兩塊的待磨削晶體同時定位，同時對砂輪修整裝置同步定位，之后即可進行晶體的磨削。
2.一種磨削碳化硅晶體端面的裝置，包括基座（11），其特征在于：所述的基座（11）上設置有晶體定位油缸和砂輪修整定位油缸（5），所述基座（11）兩側還設置有支撐板（10），所述的支撐板（10）上活動連接有晶體安裝定位平板（12）。
3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于：所述的晶體定位油缸頂端設置有磁力吸盤（13）。
4.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于：所述的晶體安裝定位平板（12）通過快速鏈接銷固定在基座兩側的支撐板（10）上。
5.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于：所述的基座（11）中心設置砂輪修整定位油缸（5），在其周圍呈正方形或圓形均勻分布有晶體定位油缸。
6.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于：所述的晶體定位油缸并聯在同一油路上，所述的砂輪修整定位油缸單獨連接在另一油路上。
7.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于：所述晶體定位油缸的主供油管路上設置有壓力傳感器和電磁閥；每個定位油缸的供油管路上均安裝有液控自鎖緊裝置。
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