[發明專利]布線結構體、液滴噴頭以及液滴噴出裝置

有效

• 申請號: 201410035965.4
• 申請日: 2014-01-24
• 公開（公告）號: CN103972205B
• 公開（公告）日: 2018-01-26
• 發明（設計）人: 橫山好彥
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H01L23/498
• 分類號: H01L23/498;B41J2/135
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司11240
• 代理人: 余剛,吳孟秋

技術領域

本發明涉及一種布線結構體、液滴噴頭以及液滴噴出裝置。

背景技術

具備用于噴出液滴的液滴噴頭的液滴噴出裝置例如用于圖像的形成、微器件的布線制造。

例如、壓電驅動方式的液滴噴頭具備：用于貯留墨水的貯留池；與貯留池連通的多個壓力產生室；分別與多個壓力產生室連通的多個噴嘴；分別使多個壓力產生室內的壓力變化的多個壓電元件；以及用于驅動多個壓電元件的驅動器IC。

在這樣的液滴噴頭中，一般如專利文獻1所揭示的那樣，在形成有壓力產生室的流路形成用基板（基底基板）的一面上分別接合有壓電元件和形成有貯留池的貯留池形成用基板（布線基板）。并且，驅動器IC被接合于貯留池形成用基板的與流路形成用基板相反一側的面上，通過設置于貯留池形成用基板上的布線與壓電元件電連接。

這里，在驅動器IC和壓電元件之間會產生因貯留池形成用基板的厚度所導致的高低差，需要經由該高低差而電連接驅動器IC和壓電元件。

于是，在專利文獻1記載的液滴噴頭中，使貯留池形成用基板的側面為傾斜面，在該傾斜面上形成用于電連接驅動器IC和壓電元件的布線。

但是，近年來，為了實現更加高精細的圖像形成、布線制造而期望將噴嘴彼此間的節距縮小。如果使噴嘴彼此間的節距縮小，隨之，壓電元件的端子彼此間的節距也縮小。

但是，在專利文獻1記載的液滴噴頭中，形成布線的面是貯留池形成用基板的一個側面，因此，布線彼此間的節距的最小部分和壓電元件的端子彼此間的節距為相同程度。因此，如果使壓電元件的端子彼此間的節距縮小，則存在布線形成困難的問題。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2006-281763號公報

發明內容

發明要解決的課題

本發明的目的在于提供一種如下所述的布線結構體，即、該布線結構體電連接形成于基底基板的多個端子和形成于與基底基板接合的布線基板的多條布線，其中，即使多個端子彼此之間的節距縮小，也可以容易地實現布線的形成，本發明的目的還在于提供一種具備這種布線結構體的液滴噴頭以及液滴噴出裝置。

解決課題的手段

上述目的通過下述的本發明來實現。

本發明的布線結構體其特征在于，具備：基底基板，形成有第一端子以及第二端子；第一布線基板，與所述基底基板接合，具有形成有與所述第一端子電連接的第一布線并相對于所述基底基板呈銳角的第一傾斜面；以及第二布線基板，與所述基底基板接合，具有形成有與所述第二端子電連接的第二布線并沿所述第一傾斜面而相對于所述基底基板傾斜的第二傾斜面。

根據這樣的布線結構體，使第一布線和第二布線形成于不同的傾斜面上，因此，可以使第一布線彼此之間的節距以及第二布線彼此之間的節距分別大于第一端子和第二端子之間的節距。因此，即使縮小第一端子和第二端子之間的節距，也可以分別容易地形成第一布線以及第二布線。

此外，在本發明的布線結構體中，優選在所述第一布線基板的與所述基底基板相反一側的面上分別形成有與所述第一布線電連接的第三端子、以及與所述第二布線電連接的第四端子。

由此，可以容易地電連接配置于第一布線基板上的半導體元件或IC封裝件與第三端子及第四端子。

此外，在本發明的布線結構體中，優選所述第二布線和所述第四端子通過導電性的凸塊而接合。

由此，可以容易可靠地進行第二布線和第四端子的電連接。此外，由于可以使第一布線和第二布線之間的間隙增大，因此，可以防止第一布線和第二布線之間的短路。其結果，可以提高布線結構體的可靠性。

此外，在本發明的布線結構體中，優選所述第三端子以及所述第四端子交替排列地配置有多個。

由此，可以增大第一布線彼此之間的節距以及第二布線彼此之間的節距，其結果，可以容易地實現第一布線以及第二布線的形成。

此外，在本發明的布線結構體中，優選所述第二布線從所述第二傾斜面延伸至所述第二布線基板的所述基底基板一側的面。

由此，可以在基底基板和第二布線基板之間接合第二端子和第二布線。因此，第二端子和第二布線的電連接更為容易。

此外，在本發明的布線結構體中，優選所述第二布線和所述第二端子通過導電性的凸塊而接合。

由此，可以容易可靠地進行第二布線和第二端子的電連接。此外，由于可以使第二布線和第一端子之間的間隙增大，因此，可以防止第二布線和第一端子之間的短路。其結果，可以提高布線結構體的可靠性。