[發(fā)明專利]用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410035939.1
• 申請(qǐng)日: 2014-01-24
• 公開（公告）號(hào): CN104051624A
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金義圭;張大植
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/00
• 分類號(hào): H01L51/00;H01L27/32
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11204
• 代理人: 余朦;王艷春

1.一種用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法，包括：

通過掩模在測(cè)驗(yàn)基板上形成有機(jī)圖案；

通過拍攝所述測(cè)驗(yàn)基板的預(yù)定測(cè)驗(yàn)區(qū)域獲取測(cè)驗(yàn)圖像，其中，所形成的有機(jī)圖案被顯示到所述測(cè)驗(yàn)圖像；以及

檢查顯示到所述測(cè)驗(yàn)圖像的所述有機(jī)圖案的邊緣是否超出顯示在所述測(cè)驗(yàn)圖像中的虛擬測(cè)驗(yàn)圖的邊緣。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，

所述測(cè)驗(yàn)基板的所述預(yù)定測(cè)驗(yàn)區(qū)域包括：圖案區(qū)域，其中第一像素圖案、第二像素圖案和第三像素圖案彼此相鄰；以及非圖案區(qū)域，與所述圖案區(qū)域相鄰，以及

通過拍攝包括所述圖案區(qū)域和所述非圖案區(qū)域的所述預(yù)定測(cè)驗(yàn)區(qū)域，執(zhí)行所述測(cè)驗(yàn)圖像的獲取。

3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，

所述通過掩模在測(cè)驗(yàn)基板上形成有機(jī)圖案的步驟包括：

通過第一掩模在所述測(cè)驗(yàn)基板上形成多個(gè)第一有機(jī)圖案以覆蓋所述圖案區(qū)域的所述第一像素圖案以及所述非圖案區(qū)域的第一部分；

通過第二掩模在所述測(cè)驗(yàn)基板上形成多個(gè)第二有機(jī)圖案以覆蓋所述圖案區(qū)域的所述第二像素圖案以及所述非圖案區(qū)域的第二部分；以及

通過第三掩模在所述測(cè)驗(yàn)基板上形成多個(gè)第三有機(jī)圖案以覆蓋所述圖案區(qū)域的所述第三像素圖案以及所述非圖案區(qū)域的第三部分。

4.如權(quán)利要求3所述的方法，其中，

所述檢查顯示到所述測(cè)驗(yàn)圖像的所述有機(jī)圖案的邊緣是否超出虛擬測(cè)驗(yàn)圖的邊緣的步驟包括：

檢查所述第一有機(jī)圖案的邊緣是否超出顯示到所述非圖案區(qū)域的所述第一部分的虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖的邊緣；

檢查所述第二有機(jī)圖案的邊緣是否超出顯示到所述非圖案區(qū)域的所述第二部分的虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖的邊緣；以及

檢查所述第三有機(jī)圖案的邊緣是否超出顯示到所述非圖案區(qū)域的所述第三部分的虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖的邊緣。

5.如權(quán)利要求4所述的方法，其中，

所述虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖、所述虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖和所述虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖沿著第一方向的深度分別與所述第一像素圖案、所述第二像素圖案和所述第三像素圖案沿著所述第一方向的深度對(duì)應(yīng)。

6.如權(quán)利要求5所述的方法，其中，

通過所述虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖與所述第一像素圖案之間的所述第二有機(jī)圖案，所述虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖從所述第一像素圖案分離；

通過所述虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖與所述第二像素圖案之間的所述第一有機(jī)圖案，所述虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖從所述第二像素圖案分離；以及

通過所述虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖與所述第三像素圖案之間的所述第二有機(jī)圖案，所述虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖從所述第三像素圖案分離。

7.如權(quán)利要求6所述的方法，其中，

所述虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖、所述虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖和所述虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖分別具有不同尺寸的圖形。

8.如權(quán)利要求5所述的方法，其中，

所述虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖被提供在相鄰的第一像素圖案之間；

所述虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖被提供在相鄰的第二像素圖案之間；以及

所述虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖被提供在相鄰的第三像素圖案之間。

9.如權(quán)利要求8所述的方法，其中，

所述虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖、所述虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖和所述虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖分別具有相同尺寸的圖形。