[發明專利]一種用于金相制樣的模具和金相制樣方法

有效

• 申請號: 201410035383.6
• 申請日: 2014-01-24
• 公開（公告）號: CN103792119B
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發明（設計）人: 劉子玉;王謙;蔡堅;王水弟
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G01N1/28
• 分類號: G01N1/28
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283
• 代理人: 陳瀟瀟;肖冰濱

本發明公開了一種用于金相制樣的模具和金相制樣方法，所述金相制樣方法包括：獲取待觀測的一個或多個樣品；將所述一個或多個樣品放置并固定在模具的相應槽中；以及對固定在一起的所述一個或多個樣品和所述模具進行研磨、拋光和觀測，如此可以使用快速固化材料將樣品固定在模具中而不影響制樣的質量，從而能夠縮短制樣時間，提高了分析效率。

技術領域

本發明涉及微觀分析測試領域，具體地，涉及一種用于金相制樣的模具和金相制樣方法。

背景技術

目前，在許多領域中都需要進行微觀分析測試，例如材料學中的金相分析、元素成分分析；半導體領域中的微型結構的形貌觀測等，在這些分析觀測中都需要對待觀測、分析的樣品進行“金相制樣”，然后才能放到電子顯微鏡里進行觀測分析和測量。

通常金相制樣的步驟是：

（1）對于體積大的樣品（如硅圓片、封裝好的器件等）進行切割，以切割成合適的“小樣品”；

（2）用商用的鑲樣機或手工把待觀測的“小樣品”鑲嵌在模具內的樹脂中，如圖1所示的是制樣的模具；

（3）樹脂固化后被從模具中取出，通過研磨拋光機或者手工對被觀測的樣品進行研磨、拋光，以獲取待觀測的金相樣品，如圖2所示。

然而，在上述金相制樣過程中，鑲嵌樣品時最常用的樹脂是環氧樹脂。而這種環氧樹脂在常溫下固化需要8個小時左右；即使加熱固化，也需要2至4小時。可見該方法的制樣時間太長，極大地降低了分析效率。雖然也可以選用其它少數快速固化材料，如牙托粉等，但獲得的金相樣品的質量較差。

發明內容

本發明的目的是提供一種用于金相制樣的模具和金相制樣方法，通過該金相制樣的模具和金相制樣方法能夠縮短制樣時間，從而提高了分析效率。

為了實現上述目的，本發明提供一種金相制樣方法，所述金相制樣方法包括：獲取待觀測的一個或多個樣品；將所述一個或多個樣品垂直放置并固定在模具的相應槽中；以及對固定在一起的所述一個或多個樣品和所述模具進行研磨、拋光和觀測。

此外，本發明還提供一種用于金相制樣的模具，所述模具具有多個槽，且其中每個槽的一個側面與底面垂直。

本發明通過將待觀測樣品固定在模具的相應槽中，并對固定在一起的所述一個或多個樣品和所述模具進行研磨、拋光和觀測，如此可以使用快速固化材料將樣品固定在模具中而不影響制樣的質量，從而有效地縮短制樣時間，提高了樣品的分析效率。

本發明的其他特征和優點將在隨后的具體實施方式部分予以詳細說明。

附圖說明

附圖是用來提供對本發明的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與下面的具體實施方式一起用于解釋本發明，但并不構成對本發明的限制。在附圖中：

圖1是現有用于金相制樣的模具的示意圖；

圖2是使用圖1所示模具制成的金相樣品的示意圖；

圖3是根據本發明實施方式的用于金相制樣的模具的示意圖；以及

圖4是使用圖3所示模具實現鑲樣的示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本發明的具體實施方式進行詳細說明。應當理解的是，此處所描述的具體實施方式僅用于說明和解釋本發明，并不用于限制本發明。

圖3是根據本發明實施方式的用于金相制樣的模具的示意圖。如圖3所示，本發明所提供的用于金相制樣的模具具有多個槽10，且所述多個槽10位于模具的同一側。