[發(fā)明專利]一種新型背柵效應(yīng)測(cè)試方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410033054.8
• 申請(qǐng)日: 2014-01-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103760484A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮巍;杜全鋼;郭永平;謝小剛;李維剛;姜煒;蔣建
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 新磊半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/26
• 分類號(hào): G01R31/26
• 代理公司: 北京思海天達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11203
• 代理人: 張慧

1.一種新型背柵效應(yīng)的測(cè)試方法，其特征在于：該測(cè)試系統(tǒng)結(jié)構(gòu)包括直流電壓源（10）、電路開(kāi)關(guān)（20）、待測(cè)樣品（30）、霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)（40）、合金電極（31）、金屬點(diǎn)電極（32）；測(cè)試過(guò)程包括如下步驟，

S1從外延片解理上選取無(wú)缺陷處，并采用標(biāo)準(zhǔn)的正方形作為待測(cè)樣品（30）；

S2在待測(cè)樣品（30）的正面電極位置制備金屬點(diǎn)電極（32），背面制備合金電極（31）；

S3將霍爾測(cè)試系統(tǒng)（40）與待測(cè)樣品（30）表面的金屬點(diǎn)電極（32）連接測(cè)試樣品的霍爾電阻，在測(cè)試過(guò)程中，待測(cè)樣品（30）正面其中一個(gè)點(diǎn)電極與背面金屬電極（31）之間加上直流電壓源（10），并通過(guò)開(kāi)關(guān)（20）判斷控制電壓是否加上；

S4首先斷開(kāi)外接電路開(kāi)關(guān)（20），測(cè)試樣品的霍爾電阻R₁；重新設(shè)定直流電壓源（10）的電壓，合上外接電路開(kāi)關(guān)（20），測(cè)試樣品的霍爾電阻R₂；利用（R₂-R₁）/R₁的數(shù)值來(lái)表征外延片的背柵特性。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型背柵效應(yīng)的測(cè)試方法，其特征在于：所述待測(cè)樣品（30）是從MBE在線生產(chǎn)中抽查外延片上獲得的；待測(cè)樣品（30）被制備成霍爾測(cè)試樣品，在正面電極位置制備金屬點(diǎn)電極（32），背面制備合金電極（31）后退火，形成歐姆接觸電極。