[發(fā)明專利]碗狀金屬納米結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410031573.0
• 申請日: 2014-01-23
• 公開（公告）號: CN104808269B
• 公開（公告）日: 2017-09-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱振東;李群慶;白本鋒;范守善
• 申請（專利權(quán)）人: 清華大學;鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司
• 主分類號: G02B5/02
• 分類號: G02B5/02;G01N21/25
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種碗狀金屬納米結(jié)構(gòu)，包括一基底以及位于該基底表面的凸塊結(jié)構(gòu)，該凸塊結(jié)構(gòu)的頂面具有一碗狀凹陷部，在該碗狀凹陷部的底部中心進一步包括一凸起結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述碗狀凹陷部與所述凸起結(jié)構(gòu)一體成型。

2.如權(quán)利要求1所述的碗狀金屬納米結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述凸起結(jié)構(gòu)與所述碗狀凹陷部由同種金屬材料組成。

3.如權(quán)利要求2所述的碗狀金屬納米結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述金屬材料為金、銀、鉑、鈀、鈦、銅或鋁。

4.如權(quán)利要求1所述的碗狀金屬納米結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述凸起結(jié)構(gòu)的形狀為球形。

5.如權(quán)利要求4所述的碗狀金屬納米結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述球形的直徑為2納米~60納米。

6.如權(quán)利要求1所述的碗狀金屬納米結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述碗狀凹陷部包括一內(nèi)表面，所述凸起結(jié)構(gòu)位于該內(nèi)表面的中心，并通過該內(nèi)表面與所述碗狀凹陷部一體成型。

7.如權(quán)利要求1所述的碗狀金屬納米結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述碗狀凹陷部的深度為20納米~200納米，高度為40納米~300納米，寬度為100納米~850納米。

8.如權(quán)利要求1所述的碗狀金屬納米結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述碗狀凹陷部具有一碗口，該碗口的直徑為40納米~600納米。

9.一種碗狀金屬納米結(jié)構(gòu)陣列，包括多個凸塊結(jié)構(gòu)，所述多個凸塊結(jié)構(gòu)共用一基底，該凸塊結(jié)構(gòu)的頂面具有一碗狀凹陷部，在該碗狀凹陷部的底部中心進一步包括一凸起結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述碗狀凹陷部與所述凸起結(jié)構(gòu)一體成型。

10.如權(quán)利要求9所述的碗狀金屬納米結(jié)構(gòu)陣列，其特征在于，所述凸塊結(jié)構(gòu)的周期為200納米~1微米。

11.如權(quán)利要求9所述的碗狀金屬納米結(jié)構(gòu)陣列，其特征在于，相鄰凸塊結(jié)構(gòu)之間的間隙為100納米~150納米。

12.一種碗狀金屬納米結(jié)構(gòu)陣列，包括一基底以及一金屬層設(shè)置在該基底表面，該金屬層遠離基底的表面具有多個凸塊結(jié)構(gòu)，每個凸塊結(jié)構(gòu)的頂面具有一碗狀凹陷部，在該碗狀凹陷部的底部中心進一步包括一凸起結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述碗狀凹陷部與所述凸起結(jié)構(gòu)一體成型。

13.如權(quán)利要求12所述的碗狀金屬納米結(jié)構(gòu)陣列，其特征在于，所述金屬層為一連續(xù)結(jié)構(gòu)，該金屬層具有相對的頂面和底面，該金屬層的底面與所述基底接觸設(shè)置，該金屬層的頂面設(shè)置有多個凸塊結(jié)構(gòu)。

14.如權(quán)利要求12所述的碗狀金屬納米結(jié)構(gòu)陣列，其特征在于，相鄰兩個凸塊結(jié)構(gòu)之間的金屬層的厚度為5納米~80納米。