[發明專利]碗狀金屬納米結構

有效

• 申請號: 201410031573.0
• 申請日: 2014-01-23
• 公開（公告）號: CN104808269B
• 公開（公告）日: 2017-09-01
• 發明（設計）人: 朱振東;李群慶;白本鋒;范守善
• 申請（專利權）人: 清華大學;鴻富錦精密工業（深圳）有限公司
• 主分類號: G02B5/02
• 分類號: G02B5/02;G01N21/25
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1.一種碗狀金屬納米結構，包括一基底以及位于該基底表面的凸塊結構，該凸塊結構的頂面具有一碗狀凹陷部，在該碗狀凹陷部的底部中心進一步包括一凸起結構，其特征在于，所述碗狀凹陷部與所述凸起結構一體成型。

2.如權利要求1所述的碗狀金屬納米結構，其特征在于，所述凸起結構與所述碗狀凹陷部由同種金屬材料組成。

3.如權利要求2所述的碗狀金屬納米結構，其特征在于，所述金屬材料為金、銀、鉑、鈀、鈦、銅或鋁。

4.如權利要求1所述的碗狀金屬納米結構，其特征在于，所述凸起結構的形狀為球形。

5.如權利要求4所述的碗狀金屬納米結構，其特征在于，所述球形的直徑為2納米~60納米。

6.如權利要求1所述的碗狀金屬納米結構，其特征在于，所述碗狀凹陷部包括一內表面，所述凸起結構位于該內表面的中心，并通過該內表面與所述碗狀凹陷部一體成型。

7.如權利要求1所述的碗狀金屬納米結構，其特征在于，所述碗狀凹陷部的深度為20納米~200納米，高度為40納米~300納米，寬度為100納米~850納米。

8.如權利要求1所述的碗狀金屬納米結構，其特征在于，所述碗狀凹陷部具有一碗口，該碗口的直徑為40納米~600納米。

9.一種碗狀金屬納米結構陣列，包括多個凸塊結構，所述多個凸塊結構共用一基底，該凸塊結構的頂面具有一碗狀凹陷部，在該碗狀凹陷部的底部中心進一步包括一凸起結構，其特征在于，所述碗狀凹陷部與所述凸起結構一體成型。

10.如權利要求9所述的碗狀金屬納米結構陣列，其特征在于，所述凸塊結構的周期為200納米~1微米。

11.如權利要求9所述的碗狀金屬納米結構陣列，其特征在于，相鄰凸塊結構之間的間隙為100納米~150納米。

12.一種碗狀金屬納米結構陣列，包括一基底以及一金屬層設置在該基底表面，該金屬層遠離基底的表面具有多個凸塊結構，每個凸塊結構的頂面具有一碗狀凹陷部，在該碗狀凹陷部的底部中心進一步包括一凸起結構，其特征在于，所述碗狀凹陷部與所述凸起結構一體成型。

13.如權利要求12所述的碗狀金屬納米結構陣列，其特征在于，所述金屬層為一連續結構，該金屬層具有相對的頂面和底面，該金屬層的底面與所述基底接觸設置，該金屬層的頂面設置有多個凸塊結構。

14.如權利要求12所述的碗狀金屬納米結構陣列，其特征在于，相鄰兩個凸塊結構之間的金屬層的厚度為5納米~80納米。