[發(fā)明專利]一種觸控面板及其制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410031065.2
• 申請日: 2014-01-22
• 公開（公告）號: CN103941910A
• 公開（公告）日: 2014-07-23
• 發(fā)明（設計）人: 郭建
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 孟桂超;張穎玲

技術領域

本發(fā)明涉及觸控工藝，尤其涉及一種觸控面板及其制造方法。

背景技術

目前的觸控面板可以分為G－G結構和一體化觸控（One?Glass?Solution，OGS）結構。其中，G－G結構是將觸控傳感器（Touch?sensor）制作在普通玻璃上，然后和保護玻璃進行貼合，其優(yōu)點是制造工藝簡單，和陣列基板（Array）產線兼容性好；缺點是該結構是雙層玻璃貼合，最后得到的G－G產品厚度較大，而且透過率偏低。OGS結構是直接在玻璃上形成ITO導電膜及傳感器，具體是由擋光的黑矩陣（BM）材料，起保護作用的有機樹脂（Organic?Coating，OC）材料和金屬布線組成。OGS的優(yōu)點是僅使用一張玻璃，結構簡單，具有輕薄等特點，而且制作工藝中省掉一張玻璃基板以及貼合工序，有利于降低生產成本、提高產品良率。

如此，OGS將成為觸控產業(yè)的主導技術方向，但由于目前的薄膜晶體管液晶顯示器（TFT?LCD）的Array產線中沒有制造OC材料的設備，而且，在Array產線中進行OGS的制造時，由于BM材料是有機物，比較柔軟，無法承受金屬層沉積后濺射（sputter）的轟擊，在進行高溫轟擊時，BM的成分會被打出，造成設備污染。因此，目前的Array產線不能很好地兼容OGS面板的制造，使得制造商對于如何利用Array產線制造OGS面板面臨較大困難。

發(fā)明內容

有鑒于此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種觸摸面板及其制造方法，能夠利用Array產線進行觸摸面板的制造，提高Array產線的產能。

為達到上述目的，本發(fā)明的技術方案是這樣實現的：

一種觸控面板制造方法，所述方法包括：

本發(fā)明提供了一種觸控面板制造方法，所述方法包括：

在已形成黑矩陣圖案的玻璃基板上依次形成第一保護層和第一金屬層；

對所述第一金屬層和第一保護層進行構圖，形成第一金屬線圖案，并去除除第一金屬線圖案覆蓋的第一保護層；

形成第二保護層；

沉積第二金屬層，并對應形成第二金屬線圖案。

優(yōu)選的，在形成第二金屬線圖案后進一步包括：形成第三保護層。

優(yōu)選的，所述去除除第一金屬線圖案覆蓋的第一保護層之后，所述方法進一步包括：

對黑矩陣圖案的表面進行平整化處理。

其中，所述在已形成黑矩陣圖案的玻璃基板上形成第一保護層為：

在已形成黑矩陣圖案的玻璃基板上沉積SiNx、SiOx、或AlOx等非金屬材料，形成第一保護層。

其中，所述形成第二保護層為：通過PECVD沉積第二保護層。

優(yōu)選的，所述第一金屬層和第二金屬層所選材料為：透明或不透明金屬。

其中，所述透明金屬為氧化物金屬，所述不透明金屬選為陣列基板的柵極材料。

本發(fā)明還提供了一種觸控面板，所述觸控面板包括：玻璃基板、位于玻璃基板表面的黑矩陣圖案，還包括第一金屬線圖案、位于所述黑矩陣圖案與第一金屬線圖案之間的第一保護層、用于保護第一金屬線圖案的第二保護層；其中，

所述第一保護層與所述第一金屬線圖案相鄰接，且具有相同的形狀；

未被所述第一保護層覆蓋的黑矩陣圖案區(qū)域被所述第二保護層覆蓋；

所述觸控面板進一步包括，位于所屬第二保護層上方的第二金屬層。

優(yōu)選的，所述觸控面板還包括：位于第二金屬層上方的第三保護層。

其中，所述第二金屬層為銦錫金屬氧化物ITO層。

本發(fā)明在沉積第一保護層后，直接沉積第一金屬層，省去了對第一保護層的掩膜工藝，利用第二保護層對BM材料進行保護，不僅最大限度地利用Array產線進行生產，而且避免了BM材料在金屬沉積過程中由于濺射的轟擊，對設備造成的污染，能夠提高Array產線的產能。

附圖說明

圖1為本發(fā)明觸摸面板制造方法的實現流程示意圖；

圖2為本發(fā)明觸摸面板制造方法過程中已形成BM材料圖樣的玻璃基板的結構示意圖；

圖3為圖2結構基礎上沉積第一保護層后的結構示意圖；

圖4為圖3結構基礎上形成被光刻膠覆蓋的第一金屬線圖案的示意圖；

圖5為圖4結構基礎上對第一保護層進行干法刻蝕后的結構示意圖；

圖6為圖5結構基礎上沉積第二保護層后的結構示意圖；

圖7為圖6結構基礎上形成第二金屬層后的結構示意圖；

圖8為圖7結構基礎上形成的觸摸面板的結構示意圖。

附圖標記：