[發(fā)明專利]一種柔性曲面微透鏡陣列的制作方法及應(yīng)用無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410030691.X | 申請日： | 2014-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN103777256A | 公開（公告）日： | 2014-05-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 金建;邸思;劉鵬;陳賢帥;杜如虛 | 申請（專利權(quán)）人： | 廣州中國科學(xué)院先進技術(shù)研究所 |
| 主分類號： | G02B3/00 | 分類號： | G02B3/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44205 | 代理人： | 譚英強 |
| 地址： | 512000 廣東省廣州*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 柔性 曲面 透鏡 陣列 制作方法 應(yīng)用 | ||
1.一種柔性曲面微透鏡陣列的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：
A.制作表面具有微透鏡形狀凸起陣列的母版；
B.在所述母版表面上傾倒透明的PUA至覆蓋整個凸起陣列，取一PET片材作為第一基底，覆蓋在PUA上，施加壓力至第一基底與PUA接觸平整；
C.將整個母版、PUA、第一基底至于紫外光刻機下曝光，PUA固化后，撕下第一基底，PUA會隨著第一基底與母版分離，從而形成以PET片材為第一基底的凹形微透鏡陣列；
D.在所述凹形微透鏡陣列上再傾覆一層PUA，同時取一PET片材作為第二基底覆蓋在PUA上，施加壓力至第二基底與PUA接觸平整；
E.將整個凹形微透鏡陣列、PUA、第二基底至于紫外光刻機下曝光，PUA固化后，撕下第二基底后，新固化的PUA會隨著第二基底與凹形微透鏡陣列分離，從而形成以PET片材為第二基底的透鏡陣列；
F.將所述透鏡陣列的兩側(cè)邊緣固定在夾具上，以PET片材為第二基底的透鏡陣列自然彎曲，形成柔性曲面微透鏡陣列。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性曲面微透鏡陣列制作方法，其特征在于，所述步驟A中母版的制作包括以下步驟：取一片表面平整的玻璃片作為基板，清洗烘干后將正光刻膠涂覆于所述基板上；經(jīng)過前烘后，將帶有正光刻膠的基板至于圓孔掩膜板下進行紫外曝光；再將曝光后的基板置于顯影液中，顯影得到帶有圓柱形正光刻膠的基板；再將基板置于烘箱內(nèi)，正光刻膠融化，并在表面張力的作用下，自動形成微透鏡形狀的凸起陣列，完成母版的制作。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性曲面微透鏡陣列制作方法，其特征在于：所述基板在涂覆正光刻膠前進行氧氣等離子體處理。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性曲面微透鏡陣列制作方法，其特征在于：所述圓孔掩膜板包括透光區(qū)以及若干分散在所述透光區(qū)且呈圓形的遮光區(qū)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4任一項所述的柔性曲面微透鏡陣列制作方法，其特征在于：所述夾具包括兩個互成角度的夾板，兩所述夾板的內(nèi)側(cè)對應(yīng)設(shè)有可安裝透鏡陣列兩側(cè)邊緣的卡槽。
6.一種柔性曲面微透鏡陣列的應(yīng)用，其特征在于：在通過權(quán)利要求1～5任一項所述方法制作的柔性曲面微透鏡陣列的凹面下方設(shè)置COMS傳感器芯片，組成具有成像功能的全視角微透鏡成像系統(tǒng)。
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