[發明專利]涂敷裝置及涂敷方法

有效

• 申請號: 201410030685.4
• 申請日: 2014-01-22
• 公開（公告）號: CN103964700A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發明（設計）人: 土田修三;堀川晃宏;奧村智洋
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社
• 主分類號: C03C17/00
• 分類號: C03C17/00
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 穆德駿;謝麗娜

1.一種涂敷裝置，其特征在于，包括：

基板保持臺，載置基板；

多孔質部件，將涂敷液涂敷于所述基板的表面；

涂敷液供給機構，將所述涂敷液供給至所述多孔質部件；

輸送機構，能夠使所述基板保持臺與所述多孔質部件相對移動；

上下驅動機構，能夠使所述多孔質部件與所述基板接觸；及

隔板，配置于所述基板的外周，并覆蓋所述基板的表面的一部分，

所述隔板相對于所述基板保持臺中的載置基板的表面向所述基板保持臺的外側傾斜而配置。

2.根據權利要求1所述的涂敷裝置，其中，

在所述隔板的表面上比與所述多孔質部件接觸的位置更接近上游側的位置設置供過剩的涂敷液流入的槽。

3.根據權利要求1或2所述的涂敷裝置，其中，

所述隔板在末端部分實施了R加工。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的涂敷裝置，其中，

在所述隔板的上表面比與所述多孔質部件接觸的位置更接近上游側的位置涂覆排斥涂敷液的膜。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的涂敷裝置，其中，

在所述隔板的下表面的一部分涂覆有排斥涂敷液的膜。

6.一種涂敷方法，使涂敷液浸透于多孔質部件，并使所述多孔質部件與基板的表面接觸，由此來涂敷所述涂敷液，其特征在于，

在所述基板的涂敷開始部，將覆蓋所述基板的一部分并朝向所述基板的外側傾斜的隔板設置在所述基板的外周，在使所述多孔質部件與所述隔板接觸的狀態下，使所述多孔質部件與所述基板在一個方向上相對移動，由此，在所述基板的表面涂敷所述涂敷液。

7.根據權利要求6所述的涂敷方法，其中，

在所述多孔質部件剛通過了所述隔板之后，使所述隔板從所述基板分離。