[發明專利]紫外球面微通道板光子計數成像探測器

無效

• 申請號: 201410029500.8
• 申請日: 2014-01-22
• 公開（公告）號: CN103792004A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 尼啟良
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01J1/42
• 分類號: G01J1/42;G01J1/44
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 張偉

1.一種紫外球面微通道板光子計數成像探測器，其特征在于，包括：

置于真空殼體（4）內，由上至下設置的光電陰極（2）、微通道板（3）、位置靈敏陽極（5）；

置于真空殼體（4）前端的輸入窗（1）；

置于真空殼體（4）后端的帶有金屬輸出電極的金屬輸出窗（6）；以及

置于真空殼體（4）外部的位置讀出電路（7）和計算機圖像輸出電路（8）；

所述輸入窗（1）、與真空殼體（4）、金屬輸出窗（6）封接為一體形成真空氣密的結構；

所述輸入窗（1）的內表面上鍍有一層能透射紫外線的導電薄膜，所述的光電陰極（2）制作于該導電薄膜上；

所述輸入窗（1）及微通道板（3）為曲率半徑相同的凸球面形狀。

2.根據權利要求1所述的紫外球面微通道板光子計數成像探測器，其特征在于，所述位置靈敏陽極（5）由上至下包括：電阻層（51）、基片（53）以及金屬位置靈敏陽極（52）；所述基片（53）的材料為不導電的非金屬，厚度為1mm。

3.根據權利要求2所述的紫外球面微通道板光子計數成像探測器，其特征在于，所述金屬位置靈敏陽極（52）為延遲線陽極，所述電阻層（51）的方塊電阻范圍為1MΩ/□～10MΩ/□；所述基片（53）的相對介電常數為大于10。

4.根據權利要求2所述的紫外球面微通道板光子計數成像探測器，其特征在于，所述金屬位置靈敏陽極（52）為楔條形陽極；所述電阻層（51）的方塊電阻范圍為80MΩ/□～100MΩ/□；所述基片（53）的相對介電常數為2～5。

5.根據權利要求1所述的紫外球面微通道板光子計數成像探測器，其特征在于，所述光電陰極（2）與微通道板（3）的真空間隙為0.1mm～0.3mm。

6.根據權利要求1所述的紫外球面微通道板光子計數成像探測器，其特征在于，所述的微通道板（3）與電阻層（51）之間的真空間隙為1mm～3mm。

7.根據權利要求1所述的紫外球面微通道板光子計數成像探測器，其特征在于，所述微通道板（3）為工作在脈沖計數模式的兩片或三片微通道板結構。

8.根據權利要求1所述的紫外球面微通道板光子計數成像探測器，其特征在于，所述真空殼體（4）為陶瓷可伐合金外殼。

9.根據權利要求1所述的紫外球面微通道板光子計數成像探測器，其特征在于，所述輸入窗（1）的材料為氟化鎂或氟化鈣，厚度為3mm～5mm；所述的光電陰極（2）的材料為堿鹵化合物；所述輸入窗（1）內表面上鍍有的導電薄膜為100nm厚的鋁膜。

10.根據權利要求1所述的紫外球面微通道板光子計數成像探測器，其特征在于，所述金屬輸出窗（6）為制備有金屬電極并適合真空封接的可伐合金件，所述金屬電極與所述金屬輸出窗（6）電絕緣，所述金屬輸出窗（6）可作為探測器的地。