[發明專利]一種板上芯片封裝鍵合自動生產線

有效

• 申請號: 201410028407.5
• 申請日: 2014-01-21
• 公開（公告）號: CN103779244B
• 公開（公告）日: 2017-06-13
• 發明（設計）人: 彭捷;謝創
• 申請（專利權）人: 謝創;彭捷
• 主分類號: H01L21/60
• 分類號: H01L21/60;H05K3/34
• 代理公司: 東莞市科安知識產權代理事務所(普通合伙)44284
• 代理人: 羅崇保

1.一種板上芯片封裝鍵合自動生產線，包含最少兩臺鍵合機(50)、鍵合前處理設備、鍵合后處理設備、有機械手和運輸帶參與構成的輸送裝置、以及傳感器和控制器；所有鍵合機(50)同向沿一直線排列；于所有鍵合機的對應位置，鍵合前運輸帶(10)和鍵合后運輸帶(90)并排分別設置且均平行于該直線；每臺鍵合機配套一個鍵合工位工件裝卸機械手(45)，其作業區域涵蓋該臺鍵合機的鍵合工位(501)、于該臺鍵合機的對應位置的鍵合前運輸帶(10)和鍵合后運輸帶(90)；

其特征是：

配套每一臺鍵合機(50)，分別有一個鍵合機在線配套裝置；該鍵合機在線配套裝置包含前述鍵合工位工件裝卸機械手(45)、一個作為前述鍵合前運輸帶(10)的局部的鍵合前運輸帶機前節段(105)、一個作為前述鍵合后運輸帶(90)的局部的鍵合后運輸帶機前節段(905)；

前述鍵合工位工件裝卸機械手(45)具有如下結構：其包含一組平行擺臂(451)；該平行擺臂(451)的兩個擺軸(450)位于同一水平面且平行于工件行進方向；平行擺臂的擺動端鉸連一連桿；連桿上固裝滑軌；滑軌上有滑塊(454)；滑塊(454)下方固裝一水平滑道，水平滑道的下方一側固裝有定抓爪(4561)；水平滑道內安裝有滑桿(459)，滑桿(459)的一端下方固裝有動抓爪(4562)；前述擺軸(450)的驅動裝置為步進電機，滑塊(454)的驅動裝置為步進電機和同步帶，滑桿(459)的驅動裝置為抓爪氣缸(4560)。

2.根據權利要求1所述的一種板上芯片封裝鍵合自動生產線，其特征在于：所述鍵合后處理設備包含在線追隨鍵合光學檢測設備(921)、在線追隨測試機(922)和在線追隨滴膠機(923)，所述在線追隨鍵合光學檢測設備(921)、所述在線追隨測試機(922)和所述在線追隨滴膠機(923)各自包含一個在線追隨懸掛工作臺(60)，該在線追隨懸掛工作臺(60)包含：

一條由步進電機驅動的作為前述鍵合后運輸帶(90)的局部的數控運輸帶，其所載運的一個工件構成被追隨的目標工件；

在線追隨懸掛工作臺(60)具有以下結構：

第一條X向導軌(601)，其上有X1滑塊；第二條X向導軌(602)固裝于X1滑塊，其上有X2滑塊；Y向導軌(603)固裝于X2滑塊，其上有Y滑塊；Y滑塊上安裝軸線鉛垂的θ轉軸(604)，θ轉軸下部固裝功能裝置安裝夾；其具有X、Y、θ共三個行程區間；X向平行于工件行進方向，Y向在水平面垂直于X向；

前述X1滑塊、X2滑塊、Y滑塊分別傳動連接于一個步進電機的轉軸；θ轉軸(604)傳動連接于一個步進電機的轉軸；

攝像頭(605)，其與功能裝置安裝夾固裝。