[發(fā)明專利]一種控制半導(dǎo)體LED外延片內(nèi)應(yīng)力的裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410028207.X | 申請日： | 2014-01-21 |
| 公開（公告）號： | CN103779453A | 公開（公告）日： | 2014-05-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張寧;魏學(xué)成;劉桂鵬;劉喆;王軍喜;李晉閩 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人： | 任巖 |
| 地址： | 100083 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 控制 半導(dǎo)體 led 外延 內(nèi)應(yīng)力 裝置 | ||
1.一種控制半導(dǎo)體LED外延片內(nèi)應(yīng)力的裝置，其特征在于，該裝置包括：
圓形或多邊形結(jié)構(gòu)的承載臺(7)；
安裝于承載臺(7)表面中心位置的升降臺(5)；
安裝于升降臺(5)上的應(yīng)力機(jī)械手(6)；
安裝于承載臺(7)表面升降臺(5)兩側(cè)的第一樣品支架垂直支柱(3)和第二樣品支架垂直支柱(4)；
安裝于第一樣品支架垂直支柱(3)頂端的第一樣品支架水平夾(1)；以及
安裝于第二樣品支架垂直支柱(4)頂端的第二樣品支架水平夾(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制半導(dǎo)體LED外延片內(nèi)應(yīng)力的裝置，其特征在于，所述承載臺(7)為多邊形，其邊數(shù)為4-12個(gè)，厚度為10mm-40mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制半導(dǎo)體LED外延片內(nèi)應(yīng)力的裝置，其特征在于，所述承載臺(7)為圓形，其直徑為50mm-150mm，厚度為10mm-40mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制半導(dǎo)體LED外延片內(nèi)應(yīng)力的裝置，其特征在于，所述升降臺(5)為手動升降臺或機(jī)械升降臺，其臺面尺寸為40mm×40mm-140mm×140mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制半導(dǎo)體LED外延片內(nèi)應(yīng)力的裝置，其特征在于，所述第一樣品支架垂直支柱(3)和第二樣品支架垂直支柱(4)處于升降臺(5)兩側(cè)對稱的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制半導(dǎo)體LED外延片內(nèi)應(yīng)力的裝置，其特征在于，所述第一樣品支架水平夾(1)和第二樣品支架水平夾(2)位于第一樣品支架垂直支柱(3)和第二樣品支架垂直支柱(4)的頂端，并且其軸心連線位于同一條水平直線上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制半導(dǎo)體LED外延片內(nèi)應(yīng)力的裝置，其特征在于，所述第一樣品支架水平夾(1)和第二樣品支架水平夾(2)水平固定住半導(dǎo)體外延片，使半導(dǎo)體外延片下表面與應(yīng)力機(jī)械手(6)上表面保持平行。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制半導(dǎo)體LED外延片內(nèi)應(yīng)力的裝置，其特征在于，所述應(yīng)力機(jī)械手(6)的上表面為柱面、平面或刃，并且可上下伸縮。
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