[發明專利]電化學傳感器裝置

有效

• 申請號: 201410027770.5
• 申請日: 2014-01-21
• 公開（公告）號: CN103940862B
• 公開（公告）日: 2017-01-04
• 發明（設計）人: 馬蒂亞斯·梅茲;迪米特里·索科爾
• 申請（專利權）人: ams國際有限公司
• 主分類號: G01N27/26
• 分類號: G01N27/26
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司11021
• 代理人: 王波波

1.一種電化學傳感器裝置，包括：

集成電化學傳感器元件，具有襯底、在襯底的上表面上形成的第一電極和第二電極以及在第一電極和第二電極上形成以與第一電極和第二電極兩者電接觸的電解質層；以及

傳感器集成電路，與集成電化學傳感器元件的第一電極和第二電極電連接，

其中將集成電化學傳感器元件和傳感器集成電路設置在單一封裝中。

2.根據權利要求1所述的電化學傳感器裝置，其中，所述集成電化學傳感器元件還包括：在電解質層上形成的過濾器層，所述過濾器層適用于阻擋氣體介質的一種或多種成分。

3.根據權利要求1或2所述的電化學傳感器裝置，其中，所述集成電化學傳感器元件還包括：在電解質層下方襯底的上表面上形成的參考電極，電解質層與參考電極電接觸，

其中參考電極與集成電路電連接。

4.根據任一前述權利要求所述的電化學傳感器裝置，其中，

電解質層的厚度是10μm或以下；并且

第一電極和第二電極與電解質層電接觸的面積是11mm²或以下。

5.根據任一前述權利要求所述的電化學傳感器裝置，還包括：二次成型模，所述二次成型模具有定位于集成電化學傳感器元件上方的腔體，

其中電解質層形成于所述腔體中。

6.根據權利要求1至4中任一項所述的電化學傳感器裝置，其中，

襯底的上表面包括腔體，在所述腔體內形成第一電極和第二電極；并且

在所述腔體中形成電解質層以填充所述腔體并且覆蓋第一電極和第二電極。

7.根據任一前述權利要求所述的電化學傳感器裝置，其中，集成電化學傳感器元件和傳感器集成電路形成于單一管芯上。

8.根據權利要求7所述的電化學傳感器裝置，其中，傳感器集成電路經由一個或多個通孔與集成電化學傳感器元件的第一電極和第二電極電連接。

9.根據權利要求1至6中任一項所述的電化學傳感器裝置，其中，

集成電化學傳感器元件和傳感器集成電路形成于分離的管芯上；并且

傳感器集成電路經由一個或多個接合線與集成電化學傳感器元件的第一電極和第二電極電連接。

10.根據任一前述權利要求所述的電化學傳感器裝置，還包括：適用于確定溫度的附加感測元件。

11.一種制造封裝的電化學傳感器裝置的方法，包括步驟：

形成集成電化學傳感器元件，所述集成電化學傳感器元件具有在襯底的上表面上的第一電極和第二電極以及與所述第一電極和第二電極兩者電接觸的電解質層；

將所述第一電極和第二電極與傳感器集成電路電連接；以及

將傳感器集成電路和集成電化學傳感器元件放置于單一封裝中。

12.根據權利要求11所述的方法，還包括步驟：在電解質層上方形成過濾器層，所述過濾器層適用于阻擋氣體介質的一種或多種分量。

13.根據權利要求11或12所述的方法，還包括：

在電解質層下方襯底的上表面上形成參考電極，電解質層與參考電極電接觸；以及

將參考電極與傳感器集成電路電連接。

14.根據權利要求11至13中任一項所述的方法，包括：將集成電化學傳感器元件和傳感器集成電路形成于單一管芯上。

15.根據權利要求11至13中任一項所述的方法，包括將集成電化學傳感器元件和傳感器集成電路形成于分離的管芯上；并且

其中將傳感器集成電路與集成電化學傳感器元件的第一電極和第二電極電連接包括：經由一個或多個接合線將傳感器集成電路與集成電化學傳感器元件的第一電極和第二電極電連接。