[發明專利]對準標記、對準標記的檢測方法和對準標記檢測裝置

有效

• 申請號: 201410025187.0
• 申請日: 2014-01-20
• 公開（公告）號: CN104795383B
• 公開（公告）日: 2017-11-03
• 發明（設計）人: 岳力挽;伍強
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: H01L23/544
• 分類號: H01L23/544;H01L21/66
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種對準標記的檢測方法，其特征在于，包括：

提供晶圓，所述晶圓上具有第一標記圖形和第二標記圖形，其中，所述第一標記圖形包括沿第一方向平行分布的多個條狀圖形，所述第二標記圖形包括沿第二方向平行分布的多個條狀圖形，所述第二方向垂直于所述第一方向；

檢測所述第一標記圖形和所述第二標記圖形，分別獲得與所述第一標記圖形和所述第二標記圖形對應的第一電學信號和第二電學信號；

根據所述第一電學信號和所述第二電學信號獲得所述第一標記圖形和所述第二標記圖形的位置信息。

2.如權利要求1所述的對準標記的檢測方法，其特征在于，所述根據第一電學信號和第二電學信號獲得所述第一標記圖形和所述第二標記圖形的位置信息包括：

獲取所述第一電學信號和所述第二電學信號的長度信息；

根據所述第一電學信號的長度信息獲得所述第一標記圖形在第一方向的中心位置信息，根據所述第二電學信號的長度信息獲得所述第二標記圖形在第二方向的中心位置信息。

3.如權利要求2所述的對準標記的檢測方法，其特征在于，還包括，根據所述第一標記圖形在第一方向的中心位置信息，和所述第二標記圖形在第二方向的中心位置信息獲得所述晶圓的位置信息。

4.如權利要求1所述的對準標記的檢測方法，其特征在于，所述第一標記圖形的多個條狀圖形和所述第二標記圖形的多個條狀圖形分別與預先設定的條形碼相對應。

5.如權利要求4所述的對準標記的檢測方法，其特征在于，還包括，根據所述第一電學信號和第二電學信號獲取與所述第一標記圖形和第二標記圖形相對應的所述預先設定的條形碼的信息。

6.如權利要求4所述的對準標記的檢測方法，其特征在于，所述第一標記圖形和所述第二標記圖形為UPC條形碼或者39條形碼。

7.如權利要求1所述的對準標記的檢測方法，其特征在于，所述第一標記圖形和所述第二標記圖形的長度相同。

8.如權利要求1所述的對準標記的檢測方法，其特征在于，所述第一標記圖形和所述第二標記圖形位于晶圓上的切割槽內。

9.一種對準標記，其特征在于，包括：

第一標記圖形，所述第一標記圖形包括沿第一方向平行分布的多個條狀圖形；

第二標記圖形，所述第二標記圖形包括沿第二方向平行分布的多個條狀圖形，所述第二方向垂直于所述第一方向；

其中，通過檢測所述第一標記圖形和所述第二標記圖形能夠獲得與所述第一標記圖形和所述第二標記圖形對應的第一電學信號和第二電學信號，且根據所述第一電學信號和所述第二電學信號能夠獲得所述第一標記圖形和所述第二標記圖形的位置信息。

10.如權利要求9所述的對準標記，其特征在于，所述第一標記圖形的多個條狀圖形和所述第二標記圖形的多個條狀圖形分別與預先設定的條形碼相對應。

11.如權利要求10所述的對準標記，其特征在于，根據所述第一電學信號和第二電學信號能夠獲取與所述第一標記圖形和第二標記圖形相對應的所述預先設定的條形碼的信息。

12.如權利要求10所述的對準標記，其特征在于，所述第一標記圖形和所述第二標記圖形為UPC條形碼或者39條形碼。

13.如權利要求9所述的對準標記，其特征在于，所述第一標記圖形和所述第二標記圖形的長度相同。

14.如權利要求9所述的對準標記，其特征在于，所述第一標記圖形和所述第二標記圖形位于晶圓上的切割槽內。

15.一種對準標記檢測裝置，其特征在于，包括：

晶圓載物臺，適于裝載晶圓，所述晶圓上具有第一標記圖形和第二標記圖形，其中，所述第一標記圖形包括沿第一方向平行分布的多個條狀圖形，所述第二標記圖形包括沿第二方向平行分布的多個條狀圖形，所述第二方向垂直于所述第一方向；

光源發射單元，適于產生檢測光源，照射所述第一標記圖形和第二標記圖形，以產生與所述第一標記圖形和所述第二標記圖形分別對應的第一標記信號和第二標記信號；

信號接收單元，所述信號接收單元與所述光源發射單元相對，適于接收所述第一標記信號和第二標記信號，并分別將所述第一標記信號和第二標記信號轉換為第一電學信號和第二電學信號。