[發明專利]三維形狀測定裝置用探測器

有效

• 申請號: 201410022585.7
• 申請日: 2014-01-17
• 公開（公告）號: CN103940366B
• 公開（公告）日: 2017-01-11
• 發明（設計）人: 舟橋隆憲
• 申請（專利權）人: 松下知識產權經營株式會社
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司11021
• 代理人: 張寶榮

1.一種三維形狀測定裝置用探測器，其特征在于，具備：

安裝部，其安裝于三維形狀測定裝置；

擺動部，其具有設于所述安裝部的載置臺和載置于所述載置臺的支點構件，以所述支點構件為支點而可擺動地與所述安裝部連結，且具有相互交叉的第一面與第二面；

施力機構，其具備設于所述擺動部的可動側構件、和設于所述安裝部且隔開間隔地與所述可動側構件對置的固定側構件，所述可動側構件與所述固定側構件以產生磁吸引力的方式構成，利用該磁吸引力以使所述擺動部朝向恒定的方向的方式對所述擺動部施力；

臂支承部，其具有與所述第一面對置的第三面、與所述第二面對置的第四面，且在下端配置有與測定物的被測定面接觸的觸針的臂以下垂的方式安裝于該壁支承部；

多個擺動部側構件，其設于所述擺動部的所述第一面與所述第二面，且分別具有鉛垂面；

多個臂側構件，其設于所述臂支承部的所述第三面和所述第四面，分別與所述擺動部側構件中的任一個在水平方向上隔開間隔地對置，并且具有與對置的所述擺動構件的所述鉛垂面在水平方向上隔開間隔地對置的鉛垂面，使得與所述擺動側構件產生磁吸引力；

多個球體，其由磁性體構成，分別配置于相互對置的所述擺動部側構件與所述臂側構件之間，且在所述磁吸引力的作用下被所述鉛垂面吸引而與之接觸。

2.根據權利要求1所述的三維形狀測定裝置用探測器，其中，

由一個所述擺動部側構件、與其對置的一個所述臂側構件、配置在上述的所述擺動部側構件與所述臂側構件之間的一個所述球構成的磁力組有5組，

在所述磁力組中，5組中的任意1組配置在對與被其他4組約束的自由度不一致的方向的自由度進行約束的位置及方向上。

3.根據權利要求2所述的三維形狀測定裝置用探測器，其中，

所述擺動側構件與所述臂側構件中的一方由永久磁鐵構成，另一方由磁性體構成。

4.根據權利要求2所述的三維形狀測定裝置用探測器，其中，

所述擺動側構件與所述臂側構件雙方均由永久磁鐵構成，并配置成異極相互對置。

5.根據權利要求2至4中任一項所述的三維形狀測定裝置用探測器，其中，

所述擺動部側構件與所述磁力組如下配置：將3組配置于不在所述第一面及所述第三面上的一條直線上排列的位置，將2組配置于所述第二面及所述第四面上的不同高度。

6.根據權利要求1至4中任一項所述的三維形狀測定裝置用探測器，其中，

所述臂支承部具備位置檢測反射鏡。