[發明專利]廢液回收系統

有效

• 申請號: 201410022527.4
• 申請日: 2014-01-17
• 公開（公告）號: CN104787812B
• 公開（公告）日: 2017-02-08
• 發明（設計）人: 李成
• 申請（專利權）人: 北大方正集團有限公司;深圳方正微電子有限公司
• 主分類號: C02F1/00
• 分類號: C02F1/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司11205
• 代理人: 劉芳

技術領域

本發明涉及半導體工業生產廢水回收技術，尤其涉及一種廢液回收系統。

背景技術

現有半導體設備廠房為了輔助化合反應程序的進行，普遍難免必須應用大量的化學溶液。在半導體生成過程中，這些溶解的化學液體在使用過后必定會殘余下若干的化學廢液，產生具有排放量大、污染物種類繁多、成分復雜等特點的工業生產廢液，是一種處理難度較大的工業廢水。

由于半導體工業生產廢液中含有大量的有毒物質，若將工業生產廢液隨意傾倒而不加以處理，直接排入地表水體中，不僅污染地表水資源，而且破壞生態環境等不良影響，因此，對半導體生成工業廢液回收作為一個重要的研究課題受到廣泛關注。

發明內容

本發明提供一種廢液回收系統，用于對廢液進行回收，降低廢液對環境的不良影響。

本發明提供的一種廢液回收系統，包括：廢液傳輸裝置、控制裝置、監測裝置和至少2個廢液接收裝置；

其中，所述廢液傳輸裝置包括：與廢液輸出裝置連接的主管道、與所述主管道連通的至少2條支管道；

用于監測所述廢液傳輸裝置是否出現異常的所述監測裝置設置在所述主管道上；

用于在所述監測裝置監測到當前傳輸廢液的支管道出現異常后，控制所述主管道將廢液傳輸到另一支管道中的所述控制裝置與所述監測裝置連接；

用于接收廢液的每個所述廢液接收裝置分別對應一個所述支管道。

本發明提供的廢液回收系統，包括廢液傳輸裝置、控制裝置、監測裝置和至少2個廢液接收裝置；其中，所述廢液傳輸裝置包括：與廢液輸出裝置連接的主管道、與所述主管道連通的至少2條支管道；用于監測所述廢液傳輸裝置是否出現異常的所述監測裝置設置在所述主管道上；用于在所述監測裝置監測到當前傳輸廢液的支管道出現異常后，控制所述主管道將廢液傳輸到另一支管道中的所述控制裝置與所述監測裝置連接；用于接收廢液的每個所述廢液接收裝置分別對應一個所述支管道。本發明不僅實現了對廢液的回收，而且通過監測裝置對傳輸廢液的支管道進行檢測，當該支管道出現異常后利用備用的支管道傳輸廢液，降低廢液對環境的不良影響。

附圖說明

圖1為本發明實施例提供的一種廢液回收系統的結構示意圖；

圖2為本發明實施例提供的一種監測裝置的結構示意圖；

圖3為本發明實施例提供的另一種廢液回收系統的結構示意圖。

具體實施方式

為使本發明實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。

實施例一

圖1為本發明實施例一提供的廢液回收系統的結構示意圖，如圖1所示，該廢液回收系統包括：廢液傳輸裝置，該廢液傳輸裝置包括：與廢液輸出裝置連接的主管道11、與所述主管道11連通的至少2條支管道。本實施例中為主管道11設置2條連通的支管道，分別為支管道12和支管道13。

另外，該廢液回收系統還包括：控制裝置2、監測裝置3和至少2個廢液接收裝置4和5。

用于監測廢液傳輸裝置是否出現異常的監測裝置3設置在主管道11上；用于在監測裝置3監測到當前傳輸廢液的支管道12出現異常后，控制將主管道11中的廢液切換到由另一支管道13進行傳輸的控制裝置2與監測裝置3連接；用于接收廢液的廢液接收裝置4和廢液接收裝置5分別對應支管道12和支管道13。

具體的，廢液回收系統用于接收廢液輸出裝置排放的廢液，如半導體生產設備排放的廢液。其中，廢液傳輸裝置通過主管道11與廢液輸出裝置連接，從廢液輸出裝置中接收排放的廢液。主管道11從與自身連通的支管道中選取一個用于向廢液接收裝置中輸送廢液。本實施例中，主管道11與支管道12和支管道13連通，將廢液輸入到其他中一條支管道12中，通過支管道12將廢液輸送到與支管道12對應的廢液接收裝置4中。

本實施例中在支管道12向廢液接收裝置4傳輸廢液的過程中，另一條支管道13處于關閉狀態。而當支管道12出現異常時，由控制裝置2控制主管道11將廢液傳輸到支管道13中，由支管道13將廢液輸送到廢液接收裝置5中。相應地，由控制裝置2關閉支管道12。這樣當正在傳輸廢液的支管道12出現異常后，利用備用的支管道13來傳輸廢液，保證了廢液的正常回收，降低廢液對環境的不良影響。