[發明專利]掃描頭及運用此掃描頭的掃描臂

有效

• 申請號: 201410022308.6
• 申請日: 2014-01-17
• 公開（公告）號: CN103943446A
• 公開（公告）日: 2014-07-23
• 發明（設計）人: 理查德·F·麥克雷
• 申請（專利權）人: 漢辰科技股份有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/30
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 聞卿

1.一種掃描頭，組裝于用于一離子布植機的一掃描臂，適于微幅傾斜一工件，其特征在于，該掃描頭包括：

一外殼；

一軸組件，穿過該外殼的一第一側，并且具有一扭轉軸；

一靜電夾具，固定于該軸組件在該外殼外的一第一端上，用以固持該工件；

一第一驅動機構，配置于該外殼內，并且適于驅動該軸組件和該靜電夾具繞著該扭轉軸旋轉；以及

一微傾斜機構，配置于該外殼內，并且適于驅動該軸組件和該靜電夾具相對于該外殼傾斜。

2.如權利要求1所述的掃描頭，其特征在于，該微傾斜機構包括：

一框架組件，固定于該外殼的一罩體的一底部上，并且具有一導桿；

一對導程螺桿，穿過該框架組件，并且平行于該導桿；

一對第一馬達，固定于該底部上，并且適于分別驅動該些導程螺桿旋轉；

一對齒條，其中各該齒條具有一螺孔以及數個第一齒牙，并且該些螺孔嚙合于該些導程螺桿；

一套管，可滑動地套住該導桿，并且具有一樞轉部；以及

一控制齒塊，具有一軸孔、一偏轉孔以及數個第二齒牙，其中該軸孔位于該控制齒塊的一旋轉中心并套住該樞轉部，該偏轉孔偏離于該旋轉中心并套住該軸組件，并且該些第二齒牙位于該控制齒塊的一周緣上，并且嚙合于該些第一齒牙，以使該控制齒塊嚙合于該對齒條之間。

3.如權利要求2所述的掃描頭，其特征在于，該框架組件還具有配置于該導桿的相對兩端上的兩個端板，該些第一馬達配置于該些端板的其中一個的外側，該些第一馬達的兩個第一轉軸穿過該些端板的其中一個，并且該些導程螺桿穿過該些端板的另一個。

4.如權利要求2所述的掃描頭，其特征在于，各該齒條包括：

一齒牙部，其中該些第一齒牙位于該齒牙部朝向該控制齒塊的一第一側面上；以及

一螺母部，凸出于該第一側面，并且具有該些螺孔的其中一個。

5.如權利要求4所述的掃描頭，其特征在于，各該螺母部具有相對的兩個端面以及數個狹縫，該螺孔穿過該些端面，并且該些狹縫交錯地從該些端面向內延伸。

6.如權利要求4所述的掃描頭，其特征在于，該齒牙部還具有相對于該第一側面的一第二側面、形成于該第二側面并對應于該螺母部的一第一凹槽以及形成于該第二側面并遠離于該第一凹槽的一第二凹槽，并且各該齒條還包括：

一第一擋塊，可滑動地套入該第一凹槽中；

一第一彈簧，被壓縮于該第一凹槽的一底部和該第一擋塊之間，以使該第一擋塊抵住該罩體的一內表面；

一第二擋塊，可滑動地套入該第二凹槽中；以及

一第二彈簧，被壓縮于該第二凹槽的一底部和該第二擋塊之間，以使該第二擋塊抵住該罩體的該內表面。

7.如權利要求2所述的掃描頭，其特征在于，該軸組件還具有相對于該第一端的一第二端，并且該偏轉孔套住該第二端。

8.如權利要求2所述的掃描頭，其特征在于，該微傾斜機構還包括用以將該些第一馬達固持于該底部的一壓條。

9.如權利要求2所述的掃描頭，其特征在于，該微傾斜機構還包括分別將該些導程螺桿聯結于該些第一馬達的該些第一轉軸的一對聯軸器。

10.如權利要求2所述的掃描頭，其特征在于，該微傾斜機構還包括一對編碼器，各該導程螺桿的一端聯結于該些第一馬達的其中一個，并且各該導程螺桿的另一端套入該些編碼器的其中一個中。

11.如權利要求1所述的掃描頭，其特征在于，該第一驅動機構包括：

一平衡環模塊，套住該軸組件，以對該軸組件提供一傾斜中心；以及

一第二馬達，嚙合于該平衡環模塊，以使該第二馬達適于驅動該平衡環模塊、該軸組件和該靜電夾具繞著該扭轉軸旋轉。

12.如權利要求11所述的掃描頭，其特征在于，該平衡環模塊位于該靜電夾具和該微傾斜機構之間。

13.如權利要求11所述的掃描頭，其特征在于，該平衡環模塊包括：

一內套環，套住該軸組件；

一中間套環，經由一對第一樞軸樞接于該內套環外圍；以及

一外套環，經由一軸承套入該外殼內，并且經由和該些第一樞軸呈正交的一對第二樞軸樞接于該中間套環外圍。