[發明專利]一種減少碲鎘汞液相外延材料表面粘液的生長裝置

無效

• 申請號: 201410020985.4
• 申請日: 2014-01-17
• 公開（公告）號: CN103882527A
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發明（設計）人: 魏彥鋒;楊建榮;張娟;孫權志
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海技術物理研究所
• 主分類號: C30B29/48
• 分類號: C30B29/48;C30B19/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 郭英

1.一種減少碲鎘汞液相外延材料表面沾液的生長裝置，其結構為：石墨板（3）固定在石墨支架（4）上，石墨蓋板（1）與石墨滑塊（2）用石墨螺絲固定，石墨滑塊（2）相對于石墨板（3）可左右移動，石墨滑塊（2）上開有容納母液（8）的母液槽（9），其特征在于：所述的石墨板（3）的厚度為3～4毫米，上面開有放置氮化硼墊片（6）和襯底（7）的襯底槽（5），石墨板（3）上還開有母液收集槽（10），襯底槽（5）位于母液收集槽（10）的右側，兩者之間的距離大于4毫米，母液收集槽(10)的長和寬比襯底槽(5)的長和寬均大2mm。