[發(fā)明專利]一種背入射浸沒(méi)式熱敏薄膜型紅外探測(cè)器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410020924.8
• 申請(qǐng)日: 2014-01-17
• 公開（公告）號(hào): CN103855238A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 歐陽(yáng)程;黃志明;周煒;吳敬;高艷卿;龍芳;褚君浩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
• 主分類號(hào): H01L31/09
• 分類號(hào): H01L31/09;G01N21/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 郭英

1.一種背入射浸沒(méi)式熱敏薄膜型紅外探測(cè)器，其特征在于：在所述的熱敏薄膜型紅外探測(cè)器的襯底背面上集成一能會(huì)聚紅外信號(hào)的鍺單晶半球透鏡（4）；所述的鍺單晶半球透鏡（4）為折射率n=4、電阻率大于30Ωcm、表面鍍制有抗反射層的鍺半球晶體，在其底面鍍有作為介質(zhì)層與紅外探測(cè)器進(jìn)行粘接的硒砷化合物薄膜。