[發明專利]一種激光外光路傳輸系統及加工設備

有效

• 申請號: 201410020385.8
• 申請日: 2014-01-16
• 公開（公告）號: CN104785921B
• 公開（公告）日: 2016-11-30
• 發明（設計）人: 褚志鵬;肖磊;葉超平;宋世宇;楊錦彬;高云峰
• 申請（專利權）人: 大族激光科技產業集團股份有限公司
• 主分類號: G02B27/09
• 分類號: G02B27/09
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 張全文

1.一種激光外光路傳輸系統，其特征在于，所述系統包括將高斯激光束調整成平頂激光束的高斯平頂轉換裝置，對所述平頂激光束進行擴束的擴束裝置，將擴束后的平頂激光束分成多束子激光的分光裝置以及將各子激光的偏振態轉換成圓偏振的偏振轉換裝置。

2.如權利要求1所述的激光外光路傳輸系統，其特征在于，所述高斯平頂轉換裝置包括沿高斯激光束傳輸方向依序設置的平凹透鏡和平凸透鏡；對于所述平凹透鏡，其激光入射面為平面，出射面為凹非球面；對于所述平凸透鏡，其激光入射面為凸非球面，出射面為平面。

3.如權利要求1所述的激光外光路傳輸系統，其特征在于，所述擴束裝置包括沿平頂激光束傳輸方向依序設置的凹透鏡和凸透鏡。

4.如權利要求1～3中任一項所述的激光外光路傳輸系統，其特征在于，所述分光裝置包括將擴束后的平頂激光束分成兩束子激光的分光鏡及用以調整各子激光的傳輸方向的反射鏡。

5.如權利要求4所述的激光外光路傳輸系統，其特征在于，所述分光裝置具有3個將平頂激光束一分二、二分四束子激光的分光鏡，各子激光的能量相當。

6.如權利要求1～3中任一項所述的激光外光路傳輸系統，其特征在于，所述偏振轉換裝置包括將子激光的偏振態轉換成圓偏振的反射式相位延遲圓偏振鏡和用以調整圓偏振子激光的傳輸方向的零相位延遲反射鏡。

7.如權利要求6所述的激光外光路傳輸系統，其特征在于，所述反射式相位延遲圓偏振鏡由雙折射平板晶片的一面鍍高反射膜，另一面鍍增透膜形成。

8.一種加工設備，其特征在于，所述加工設備采用如權利要求1～7中任一項所述的激光外光路傳輸系統。