[發明專利]基板檢測系統

在審

• 申請號: 201410019004.4
• 申請日: 2014-01-16
• 公開（公告）號: CN104793064A
• 公開（公告）日: 2015-07-22
• 發明（設計）人: 汪秉龍;陳桂標;陳信呈;彭及盈;鄭明志
• 申請（專利權）人: 久元電子股份有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 于寶慶;劉春生

1.一種基板檢測系統，其特征在于，所述基板檢測系統包含：

一置料裝置，其用以置放至少一基板；

一載運裝置，其用以載運置放于該置料裝置的該基板；

一第一基板吸附載臺，其可活動地設置于一第一導軌上，用以吸附該載運裝置所置放的該基板；以及

一第一檢測裝置，其用以檢測置設于該第一基板吸附載臺的該基板。

2.根據權利要求1的基板檢測系統，其特征在于，所述基板檢測系統進一步包含一第二基板吸附載臺、一基板翻轉裝置及一第二檢測裝置，該第二基板吸附載臺可活動地設置于一第二導軌上，而該第二導軌鄰近該第一導軌設置，該基板翻轉裝置用以翻轉該第一基板吸附載臺上的該基板，并將翻轉后的該基板置放于該第二基板吸附載臺，以使該基板受該第二檢測裝置檢測。

3.根據權利要求2的基板檢測系統，其特征在于，該基板翻轉裝置包含一第一夾爪模塊及一第二夾爪模塊，該第一夾爪模塊與該第二夾爪模塊相對應的分別鄰近于該第一導軌及該第二導軌的一側設置；其中，該第一夾爪模塊用以夾取設置于該第一基板吸附載臺的該基板，該第二夾爪模塊用以夾取該第一夾爪模塊的該基板，并將該基板設置于該第二基板吸附載臺。

4.根據權利要求3的基板檢測系統，其特征在于，該第一夾爪模塊及該第二夾爪模塊分別包含至少一組夾爪，且該第一基板吸附載臺及該第二基板吸附載臺的一載臺本體分別包含至少一組可對應容置該夾爪的溝槽。

5.根據權利要求2至4中任一項的基板檢測系統，其特征在于，該第一基板吸附載臺及該第二基板吸附載臺分別包含一擋板，且該第一基板吸附載臺及該第二基板吸附載臺分別連接一傾斜裝置，該傾斜裝置用以使該第一基板傾斜裝置及該第二基板吸附載臺的該載臺本體傾斜，而使設置于該載臺本體上的該基板的一側邊抵靠于該擋板。

6.根據權利要求2至4中任一項的基板檢測系統，其特征在于，該第一基板吸附載臺及該第二基板吸附載臺分別包含一第一阻氣模塊、數個第二阻氣模塊及數個吸附孔，該第一阻氣模塊可選擇地啟閉至少一列X方向的該些吸附孔，而各該第二阻氣模塊可選擇地啟閉至少一排Y方向的該些吸附孔。

7.根據權利要求6的基板檢測系統，其特征在于，該第一基板吸附載臺及該第二基板吸附載臺進一步分別包含：

一主氣道，其與一抽氣裝置相連接，且該主氣道包含數個主氣孔；

數個第一氣道，各該第一氣道分別與該主氣道的各該主氣孔相連通，且各該第一氣道包含數個第一氣孔；以及

數個第二氣道，各該第二氣道包含數個第二氣孔，各該第二氣孔分別對應與一排的該些吸附孔相連通，且各該第一氣道的各該第一氣孔分別對應與該第二氣道相連通；

其中，該第一阻氣模塊可活動地設置于該主氣道中，以可選擇地關閉至少一主氣孔，各該第二阻氣模塊分別設置于各該第二氣道中，以可選擇地關閉至少一該第二氣孔。

8.根據權利要求2至4中任一項的基板檢測系統，其特征在于，該第一基板吸附載臺及該第二基板吸附載臺進一步分別包含一第一阻氣模塊、一第二阻氣模塊及數個吸附孔，該第一阻氣模塊可選擇地啟閉至少一列X方向的該些吸附孔，而該第二阻氣模塊可選擇地啟閉至少一排Y方向的該些吸附孔。

9.根據權利要求8的基板檢測系統，其特征在于，該第一基板吸附載臺及該第二基板吸附載臺進一步分別包含：

一主氣道，其與一抽氣裝置相連接，且該主氣道包含數個主氣孔；

數個第一氣道，各該第一氣道分別與X方向各列的該些吸附孔相連通，且各該第一氣道分別與各該主氣孔相連通；

一次氣道，其與該抽氣裝置相連接，且該次氣道包含數個次氣孔；以及

數個第二氣道，各該第二氣道分別與Y方向各排的該些吸附孔相連通，且各該第二氣道分別與各該次氣孔相連通；

其中，該第一阻氣模塊可活動地設置于該主氣道中，以可選擇地關閉至少一該主氣孔，該第二阻氣模塊設置于該次氣道中，以可選擇地關閉至少一該次氣孔。

10.根據權利要求2至4中任一項的基板檢測系統，其特征在于，所述基板檢測系統進一步包含一防迭片裝置，其包含一感測模塊及至少一彈性夾持臂；當該載運裝置將其所載運的該基板，置放于該夾持模塊時，該基板抵頂該彈性夾持臂，而該感測模塊據以感測該基板的厚度。