[發(fā)明專利]一種工件表面的PVD雙色拉絲處理方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410017751.4
• 申請(qǐng)日: 2014-01-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103882395A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張棟;汪愛(ài)英;柯培玲;孫麗麗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35;C23C14/06;C23C14/58
• 代理公司: 北京鴻元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327
• 代理人: 單英

1.一種工件表面的PVD雙色拉絲處理方法，其特征是：首先，采用PVD技術(shù)在工件表面沉積底層膜；然后，采用磁控濺射方法，以石墨為靶材，在底層膜表面濺射沉積類石墨層作為黑色膜；最后，進(jìn)行拉絲處理，得到雙色膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件表面的PVD雙色拉絲處理方法，其特征是：采用磁控濺射方法或者多弧離子鍍的方法在工件表面沉積底層膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求3所述的工件表面的PVD雙色拉絲處理方法，其特征是：所述的底層膜材料為純金屬、金屬氮化物、金屬碳氮化合物與金屬氧化物。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件表面的PVD雙色拉絲處理方法，其特征是：通過(guò)調(diào)節(jié)沉積時(shí)間調(diào)整所述類石墨層的厚度，從而對(duì)所述黑色膜的黑度進(jìn)行調(diào)整。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一權(quán)利要求所述的工件表面的PVD雙色拉絲處理方法，其特征是：在底層膜表面濺射沉積類石墨層的過(guò)程為：將表面沉積底層膜的工件置于磁控濺射裝置的真空腔室內(nèi)，通入Ar氣，開(kāi)啟磁控濺射源，以石墨為靶材，向工件施加脈沖負(fù)偏壓，濺射石墨靶材沉積類石墨層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一權(quán)利要求所述的工件表面的PVD雙色拉絲處理方法，其特征是：所述的脈沖負(fù)偏壓為-30V～-150V。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一權(quán)利要求所述的工件表面的PVD雙色拉絲處理方法，其特征是：所述的脈沖負(fù)偏壓為-30V～-70V。