[發明專利]用于電子顯微鏡的樣品載體

有效

• 申請號: 201410016917.0
• 申請日: 2014-01-15
• 公開（公告）號: CN103928279A
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發明（設計）人: F.內德洛夫
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;G01N1/44
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 胡莉莉

1.一種用于在電子顯微鏡中承載樣品（18）的樣品載體（10），所述樣品載體包括金屬箔（12），所述樣品載體包括毗連金屬箔的側邊以便將樣品（18）附連到那里的至少一個安裝位置，其特征在于，所述安裝位置毗連樣品載體中金屬箔厚度被減小的部分。

2.根據權利要求1所述的樣品載體，其中，金屬箔的減小的厚度是通過箔的錐形部分（16）實現的。

3.根據前述權利要求中的任一項所述的樣品載體，其中，所述金屬箔具有至少20?μm的厚度，并且具有減小的厚度的部分具有至多10?μm的厚度。

4.根據前述權利要求中的任一項所述的樣品載體，其中，所述金屬是Mo、Ti、Be或Cu。

5.根據權利要求2-4中的任一項所述的樣品載體，其中，所述錐形部分相對于樣品載體的平面的錐角顯示為小于45度、更具體地小于30度、最具體地小于20度。

6.根據權利要求2-5中的任一項所述的樣品載體，其中，所述錐形部分通過金屬的激光燒蝕而形成。

7.根據前述權利要求中的任一項所述的樣品載體，其中，所述樣品載體具有均勻的一致性。

8.根據權利要求1-6中的任一項所述的樣品載體，其中，所述樣品載體包括延伸超過金屬箔的邊界的碳箔。

9.一種制備用于在電子顯微鏡中檢查的樣品的方法，所述方法包括：?

·?在裝配有聚焦離子束列的設備的真空樣品室中，從工件發掘樣品并將樣品（18）焊接到樣品載體（10），?

·?在將樣品保持在設備的真空樣品室中的同時，將樣品薄化以形成薄片，以及?

·?用電子束來檢查這樣形成的薄片，?

其特征在于，

·?所述樣品載體是根據權利要求1-8中的任一項所述的樣品載體（10），?

·?從樣品被從工件發掘的時刻直至至少樣品被薄化成薄片的時刻，樣品被保持在設備的真空室中。

10.根據權利要求9所述的方法，其中，用電子束進行的檢查包括獲取斷層照片。

11.根據權利要求9或權利要求10所述的方法，其中，用電子束進行的檢查包括檢測透射電子和/或檢測X射線。