[發明專利]基于波長移相法檢測平面間平行度的方法

無效

• 申請號: 201410016148.4
• 申請日: 2014-01-14
• 公開（公告）號: CN103727901A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 魚衛星;王二偉;曹水艷;王泰升;盧振武;孫強
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 陶尊新

1.基于波長移相法檢測平面間平行度的方法，其特征是，該方法由以下步驟實現：

步驟一、計算機（1）控制驅動器（2）使可調諧激光器（3）發出的激光束經分束器（4）后被準直物鏡（5）準直為平行光束，所述平行光束入射到半反半透平面（6）和全反射面（7）上，經過半反半透平面（6）和全反射平面（7）反射的光束再次經過準直物鏡（5）和分束器（4）后被第二準直物鏡（8）準直；所述準直光束被信息采集處理系統（9）采集；

步驟二、所述計算機（1）根據接收信息采集處理系統（9）采集的信號，采用四步平均算法逐點獲得半反半透平面（6）和全反射平面（7）之間的傾斜量，并取傾斜量的最大值；

步驟三、將步驟二中獲得的傾斜量的最大值代入公式中，式中，α為半反半透平面（6）和全反射平面（7）間的平行度，為視場內相位差的最大值，λ為激光器出射光束的波長，D為視場直徑；獲得半反半透平面（6）和全反射平面（7）間的平行度，判斷所述平行度的值是否大于10-6弧度值，如果是，根據傾斜量的最大值調整全反射平面（7），執行步驟一，如果否，執行步驟四；

步驟四、計算機輸出半反半透平面（6）和全反射平面（7）之間的平行度。